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●科学技術ニュース●東京大学と慶應義塾大学、1024個の堅牢な分子センサーを1チップに集積化し小型・低消費電力センサーの実現に期待

2022-01-27 09:34:52 |    化学
 東京大学 大学院工学系研究科 応用化学専攻の大学院生 本田 陽翔、高橋 綱己 特任准教授、柳田 剛 教授、慶應義塾大学 大学院理工学研究科 総合デザイン工学専攻の大学院生 椎木 陽介、同大学 理工学部 電気情報工学科の石黒 仁揮 教授らの研究グループは、1024個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサーを1平方センチメートル以下の面積に集積化したセンサーアレイチップを開発し、1平方センチメートル以下の領域における空気中の分子の濃度分布を可視化することに成功した。

 従来技術では難しかった、長期間安定的に動作する分子センサーの高密度集積化を導電性金属酸化物電極材料設計、横型ナノ薄膜チャネル構造、およびアナログフロントエンド回路技術によって実現した。

 同センサーアレイと分子センサーチャネルの界面化学物性制御技術を融合することで、多種類の分子からなる分子群の分類ができるセンサーの実現が期待される。<科学技術振興機構(JST)>




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