●科学技術ニュース●NEDOと産総研、ファインセラミックス内部のキラー欠陥の可視化技術を開発

　新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）と産業技術総合研究所（産総研）は、ファインセラミックスのプロセス・インフォマティクス（PI）の構築を目指して、「次世代ファインセラミックス製造プロセスの基盤構築・応用開発」に取り組んでいるが、今回、ファインセラミックス焼結体内部に存在する亀裂、気孔などのキラー欠陥を常温・大気圧下でレーザーを用いた蛍光顕微鏡により表面から深さ方向に蛍光像で観察する可視化技術を開発した。

　同技術は、アルミナや窒化ケイ素、窒化アルミニウムなどの明るい色（白、灰色系）のセラミックスに適用できることを確認した。

　セラミックス焼結体内部に存在して材料特性や品質に影響を与える10～100 µm程度のキラー欠陥を非破壊、かつ短時間で検出することが可能となる。

　キラー欠陥に起因する機械特性の劣化などの予測や、ファインセラミックス製品の品質検査、さらには特性向上に向けた製造プロセスの改良が可能になる。

　今後は、表面や内部に点在する欠陥可視化技術の高精度化に向けた開発を行う。

　さらに、さまざまな組成や特性を持つファインセラミックス材を用いてキラー欠陥の分布を統計的に解析し、破壊強度の予測技術の実証実験も進める。

　同技術により、ファインセラミックス製品の品質管理をはじめ、機械特性の予測、さらには製造プロセスの改良が可能となり、これまでに予想もできなかった革新的な材料の開発が期待できる。＜産業技術総合研究所（産総研）＞