新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において、大陽日酸は、東京農工大学およびノベルクリスタルテクノロジーと共同で、次世代半導体材料として注目される酸化ガリウム（β-Ga2O3）をハライド気相成長（HVPE）法によって6インチウエハ上に成膜することに世界で初めて成功した。
同成果は、大口径かつ複数枚のエピウエハを製造可能なβ-Ga2O3量産成膜装置の開発を大きく進展させ、成膜コストが課題となっていたβ-Ga2O3エピウエハの大口径・低コスト化の実現に繋がる。
β-Ga2O3パワーデバイスが広く普及すれば、産機用モータ制御のインバーターや住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代EVなどの省エネルギー化が見込める。
大陽日酸は、NEDO事業においてβ-Ga2O3成膜向け量産装置の開発を継続し、今後は6インチβ-Ga2O3ウエハを用いたエピ成膜を行い、β-Ga2O3薄膜の電気特性評価や膜中に存在する欠陥評価を通して、高品質なβ-Ga2O3エピ成膜技術の開発を実施する。また、β-Ga2O3エピウエハの量産技術を確立した後、2024年度に量産装置の製品化を目指す。
HVPE法で製造したβ-Ga2O3エピウエハは主にSBDやFETに使われるため、2030年度には約590億円規模の市場に成長する見込み（富士経済「2020年版次世代パワーデバイス＆パワエレ関連機器市場の現状と将来展望」による）。
今後は量産装置を実現し、β-Ga2O3成膜装置市場への参入とGa2O3パワーデバイスの普及による次世代EVなどの省エネルギー化促進に貢献していく。＜新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）＞
同成果は、大口径かつ複数枚のエピウエハを製造可能なβ-Ga2O3量産成膜装置の開発を大きく進展させ、成膜コストが課題となっていたβ-Ga2O3エピウエハの大口径・低コスト化の実現に繋がる。
β-Ga2O3パワーデバイスが広く普及すれば、産機用モータ制御のインバーターや住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代EVなどの省エネルギー化が見込める。
大陽日酸は、NEDO事業においてβ-Ga2O3成膜向け量産装置の開発を継続し、今後は6インチβ-Ga2O3ウエハを用いたエピ成膜を行い、β-Ga2O3薄膜の電気特性評価や膜中に存在する欠陥評価を通して、高品質なβ-Ga2O3エピ成膜技術の開発を実施する。また、β-Ga2O3エピウエハの量産技術を確立した後、2024年度に量産装置の製品化を目指す。
HVPE法で製造したβ-Ga2O3エピウエハは主にSBDやFETに使われるため、2030年度には約590億円規模の市場に成長する見込み（富士経済「2020年版次世代パワーデバイス＆パワエレ関連機器市場の現状と将来展望」による）。
今後は量産装置を実現し、β-Ga2O3成膜装置市場への参入とGa2O3パワーデバイスの普及による次世代EVなどの省エネルギー化促進に貢献していく。＜新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）＞
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