ハイパースペクトルカメラにより数ミクロンの膜厚の2次元分布を測定できる可能性が見えてきたので紹介する。
シリコンウェーハー上に形成された酸化膜などの均一性を定量的に評価できると思われる。
シリコンウェーハー上に形成された酸化膜などの均一性を定量的に評価できると思われる。
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| 送信者 ハイパースペクトルカメラによる薄膜測定の研究 |
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