乾式

WO2015155567
By "dry" use, it is intended that the belts are external to the engine block, are only accidentally in contact with engine oil and are generally not in contact with oil mixed with fuel or other oil pollutants.

  「乾式」の使用とは、ベルトがエンジンブロックの外部にあり、エンジンオイルとの接触が偶発的なものだけであり、概して、燃料と混合されたオイルまたは他のオイルの汚染と接触していないことを意味する。

EP0868258
The mechanical abrading of the surface of a substrate being polished is performed by placing a slurry of colloidal particles on the surface of the polishing membrane to act as the agent for polishing.
研磨される基板の表面の機械的摩擦は、研磨剤として機能するコロイド粒子のスラリーを研磨膜の表面に置くことによって行われる。

This slurry is messy and must be kept wet to remain fluid to avoid excessive build up of particles and the polishing anomalies that such buildups may create.
このスラリーは分散しており、粒子の過度の堆積とその堆積によって発生する研磨の異常を避けるために常に湿らせて液体の状態に維持しなければならない。

Deionized water is therefore run onto the belt along with the slurry to maintain its fluid state and replenish the abrasive colloidal members.
従って、スラリーはその液体の状態を維持し、研磨コロイド成分を補充する脱イオン水がベルト上を流れる。

An option to a stream of de-ionized water is to run the belt (continuous flexible membrane) through a bath of fluid and/or to condition the surface of the belt by winding the path of the belt over a conditioning/idler pulley.
脱イオン水を流すことの代替案として、ベルト（連続可撓膜）を流体の槽に通すこと及び／またはベルトの通路を調節／アイドラ・プーリに沿って曲げることによってベルトの表面の状態を調節することがある。

The surface of the pulley would include a grooved surface pattern such as knurling to allow a nonuniform build-up of caked on slurry to be knocked off or distributed by the pattern (usually regular) on the surface of the conditioning idler pulley.
プーリの表面にはローレット切りのような溝付きの表面パターンが備えられ、スラリーの上に凝固した不均一な堆積を払い落としたり、調節アイドラ・プーリの表面のパターン（普通規則的）によって分散させる。

While not presently available, a dry belt which would provide the same or a very similar abrading action would be preferred to eliminate the mess and complications associated with the use of slurry.
現在利用可能ではないが、同じかまたはほとんど同様の摩擦作用を供給する乾式ベルトは、スラリーの使用に関連する混乱と複雑さを除去するために好適であろう。

As far as is known no dry-type continuous belts for CMP are presently available.
知られている限り、ＣＭＰ用の乾式連続ベルトは現在利用可能ではない。