US8896399(JP)
[0004] The SAW device has an IDT (Interdigital Transducer) including two opposing comb-shaped electrodes.
【0003】
SAWデバイスは、2つの対向した櫛型電極を備えるIDT(Interdigital Transducer)を有している。
The comb-shaped electrode has a bus bar and electrode fingers extending from the bus bar to a same direction and exciting acoustic waves.
櫛型電極は、バスバーとバスバーから同じ方向に延伸し弾性波を励振する電極指とを有している。
The electrode fingers of the opposing comb-shaped electrodes are arranged in an alternate order.
対向する櫛型電極の電極指は互い違いに配置される。
The acoustic wave is propagated to a direction intersecting with an extension direction of the electrode fingers.
弾性波は電極指の延伸方向に交差する方向に伝搬する。
However, generated is a lateral-mode spurious caused by the acoustic wave propagated to a direction of the electrode fingers.
しかしながら、電極指方向に伝播する弾性波に起因する横モードスプリアスが発生する。
There has been examined a method that provides a dummy electrode of one comb-shaped electrode to a tip of an electrode finger of another comb-shaped electrode so as to form a gap, and scatters an acoustic wave in a lateral mode by making a length of the dummy electrode different from a length of a dummy portion of a cross electrode arranged adjacent to the dummy electrode in order to suppress the spurious
櫛型電極の電極指の先端に、ギャップを介し他方の櫛型電極のダミー電極を設け、ダミー電極とダミー電極が隣り合う交差電極のダミー部の長さとを異ならせることにより、横モードの弾性波を散乱させ、スプリアスを抑える方法が検討されている
as disclosed in International Publication Pamphlet No. WO 2006/078001.
(例えば、特許文献1)。
There has been known a method that forms a dielectric film on an electrode finger but does not form a dielectric film on a bus bar to suppress the spurious
電極指上に誘電体膜を形成し、バスバー上に誘電体膜を形成しないことによりスプリアスを抑制する方法が知られている
as disclosed in International Publication Pamphlet No. WO 2008/078573.
(例えば、特許文献2)。
[0039] Next, a distribution of the acoustic wave in the extension direction of the electrode fingers is measured.
【0026】
次に、電極指の延伸方向の弾性波の分布を測定した。
FIG. 7A and FIG. 7B are diagrams illustrating an intensity of an acoustic wave in the resonators in accordance with the first embodiment and the first comparative example respectively.
図7(a)および図7(b)は、それぞれ実施例1および比較例1に係る共振器の弾性波の強度を示す図である。
FIG. 7A and FIG. 7B illustrate the intensity of the acoustic wave in the extension direction of the electrode fingers 13 a and 13 b when a drive signal of 1910 MHz is applied to the IDT 12 .
図7(a)および図7(b)は、IDT12に1910MHzの駆動信号を印加した場合の、電極指13aおよび13bの延伸方向の弾性波の強度を示している。
A horizontal axis denotes a position Y in the extension direction of the electrode fingers 13 a and 13 b , and a vertical axis denotes a displacement amplitude I of the acoustic wave.
横軸は、電極指13aおよび13bの延伸方向の位置Yを示し、縦軸は、弾性波の変位量Iを示している。
As illustrated in FIG. 7B, a third-mode acoustic wave in the lateral mode is excited in the overlap region 52 between the bus bar regions 54 in the first comparative example.
図7(b)のように、比較例1では、バスバー領域54間の交差領域52において、横モードの3次モードの弾性波が励振されている。
On the other hand, as illustrated in FIG. 7A, a large number of high-order mode acoustic waves are excited in the first embodiment.
一方、図7(a)のように、実施例1では、多数の高次モードの弾性波が励振されている。
As a result, unlike FIG. 7B, a certain strong high-order mode acoustic wave is not excited.
この結果、図7(b)のように、特定の強い高次モードの弾性波は励振されていない。
US9154113(JP)
[0074] While the above-mentioned effect can be generally obtained if the transmitting filter device 2 is of a type that uses acoustic waves, the transmitting filter device 2 is preferably of a type that uses surface acoustic waves, particularly a type that uses a LiTaO3 substrate as a piezoelectric substrate and uses leaky surface acoustic waves.
【0051】
なお、上記の効果は、送信フィルタ装置2が弾性波を利用するものであれば一般的に得られるものであるが、送信フィルタ装置2は、弾性表面波、なかでも、LiTaO3基板を圧電基板として用い、リーキー弾性表面波を利用するものであることが好ましい。
For example, although many ripples due to a higher-order transverse mode occur when a LiNbO3 substrate is used, the occurrence of ripples can be relatively suppressed by use of a LiTaO3 substrate.
例えば、LiNbO3基板を用いた場合には高次横モードに起因するリップルが多く発生するが、LiTaO3基板を用いればリップルの発生が比較的抑えられる。
Thus, if a LiTaO3 substrate is used, there is no need to apply apodization weighting also to the parallel-arm-side IDT electrode 30 as an anti-ripple measure, nor is there any increase in size.
そのため、LiTaO3基板を用いれば、リップル対策として並列腕側IDT電極30にも交差幅重み付けを施す必要はなくなり、大型化することもない。
Also, in the case of Reference Example 3 in which the parallel-arm-side IDT electrode 30 is configured by a normal IDT electrode, energy concentration due to the transverse mode occurs in the gap between the tip of the electrode finger and the busbar, causing insertion loss. In the case of using leaky surface acoustic wave, a SSBW (Surface Skimming Bulk Wave) occurs in the gap between the tip of the electrode finger and the busbar, which further makes insertion loss larger.
また、正規型のIDT電極により並列腕側IDT電極30を構成した参考例3の場合は、電極指の先端とバスバーとのギャップに横モードによるエネルギー集中が発生して挿入損失となるが、リーキー弾性表面波を利用した場合は電極指の先端とバスバーとのギャップにSSBW(Surface Skimming Bulk Wave)が発生して、さらに挿入損失が大きくなる。
Since both of these causes can be suppressed by providing dummy electrodes in a normal IDT electrode, the insertion loss reduction effect becomes particularly great for cases where leaky surface acoustic waves are used.
正規型のIDT電極にダミー電極を設けることにより、どちらの要因も抑圧できるため、リーキー弾性表面波を利用した場合は特に挿入損失を低減する効果が大きい。
US2021152153(JP)
[0052] The lengths of the plurality of electrode fingers 32 (lengths from the bus bars 31 to the tip ends) are for example set to substantially the same lengths.
【0030】
複数の電極指32の長さ(バスバー31から先端までの長さ)は、例えば概ね同じ長さに設定される。
Note that, the lengths of the electrode fingers 32 may be changed. For example, they may be made longer or shorter the further advanced in the direction of propagation of the acoustic wave.
なお、各電極指32の長さを変えてもよく、例えば弾性波の伝搬方向に進むにつれて長くしたり、短くなるようにしたりしてもよい。
Specifically, an apodised IDT electrode 3 may be configured by making the lengths of the electrode fingers 32 change with respect to the direction of propagation as well.
具体的には、各電極指32の長さを伝搬方向に対して変化させることによってアポダイズ型のIDT電極3を構成してもよい。
In this case, horizontal mode spurious emission can be reduced and an electric power resistance can be improved.
この場合には、横モードのスプリアスを低減させたり、耐電力性を向上させたりすることができる。