接合電極

US10453592(MICROSOFT TECHNOLOGY LICENSING LLC [US])
At temperatures below Tc , niobium is superconductive; however, at temperatures above Tc , it behaves as a normal metal with electrical resistance.
Ｔｃ未満の温度では、ニオブは超電導であるが、Ｔｃを超える温度では、ニオブは電気抵抗のある通常の金属としてふるまう。

In a superconductor-insulator-superconductor (SIS) type Josephson junction, the superconductor layers can be made from niobium and the insulator layer may be formed from aluminum oxide.
超電導体－絶縁体－超電導体（ＳＩＳ）タイプのジョセフソン接合では、超電導体層はニオブから形成することができ、絶縁体層は酸化アルミニウムから形成することができる。

A supercurrent passes through the Joseph injunction as a function of the sign of the phase difference between the two junction electrodes.
超電流は、２つの接合電極の間の位相差の符号の関数としてジョセフ接合部を通過する。

US10608159(NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORP [US])
[0030] The methodology accomplishes this by incorporating a hardmask process to eliminate exposure of the Josephson junction to resist strip processes and chemicals following junction definition.
【００１１】
  方法は、これを、ハードマスクプロセスを組み入れて、接合の画定後にジョセフソン接合がレジスト剥離プロセスおよび化学薬品に晒されることを排除することによって達成する。

Additionally, a plasma passivation is incorporated of the junction material stack immediately following the junction etch process without exposure to the ambient environment.
さらに、プラズマパッシベーションは、周囲環境への露出なしに接合エッチングプロセスの直後に接合材料スタックに組み込まれる。

Furthermore, diffusion barriers are incorporated within the junction electrodes to prevent migration of oxygen within the junction metallization.
さらに、拡散バリアが接合電極内に組み込まれて、接合メタライゼーション内の酸素の移動を防止する。

US8789493(LAM RES CORP [US])
[0051] During plasma processing, the elastomer bonded electrodes are able to sustain high operation temperatures, high power densities, and long RF hours.
【００３５】
  プラズマ処理の間、エラストマー接合電極は、高い動作温度、高い出力密度、および長いＲＦ時間に耐えることが可能である。

Accordingly, etch tools with a showerhead or electrode assembly 110 as described herein have been widely used in semiconductor wafer etch processes.
したがって、本明細書に記載のシャワーヘッドまたは電極アセンブリ１１０を備えたエッチングツールは、半導体ウェハエッチング工程において広く使用されてきている。

The widely successful uses of this kind of electrodes are largely due to such electrodes having electrical conductivity and high thermal conductivity.
この種の電極の使用が広く成功してきたのは、主に、かかる電極が、電気伝導率および高い熱伝導率を有するためである。

More specifically, the high conductivities are largely due to the use of Al particles (which appear as microscopic Al balls) as filler in the elastomeric bonding material 160 (the filler is typically a powdery material made of Al alloy),
より具体的には、こうした高い伝導率は、主にＡｌ粒子（微視的なＡｌボールとして見られる）をエラストマー接合材料１６０のフィラーとして使用することによるものであり（フィラーは、典型的にはＡｌ合金製の粉末材料である）、

which is commonly called Al powder or Al ball. 
このＡｌ粒子は、一般にＡｌ粉末またはＡｌボールと呼ばれている。