弾性波共振子

　共振子５は、例えば、いわゆる１ポートＳＡＷ共振子によって構成されており、ＩＤＴ電極１１と、ＩＤＴ電極１１の両側に位置する１対の反射器１３とを有している。ＩＤＴ電極１１および反射器１３の厚みｔ_ｅ（図２）は、例えば、一定である。

　ＩＤＴ電極１１は、圧電基板７の上面上に形成された導電パターン（導電層）によって構成されており、図１に示すように１対の櫛歯電極１５を有している。

　１対の櫛歯電極１５は、例えば、互いに対向するバスバー１７（図１）と、バスバー１７からバスバー１７の対向方向に延びる複数の電極指１９と、複数の電極指１９の間においてバスバー１７から突出するダミー電極２１とを有している。そして、１対の櫛歯電極１５は、複数の電極指１９が互いに噛み合うように（交差するように）配置されている。

　バスバー１７は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向（Ｄ１軸方向、Ｘ軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されている。１対の櫛歯電極１５のバスバー１７は、ＳＡＷの伝搬方向に交差する方向（Ｄ２軸方向）において対向している。

　複数の電極指１９は、例えば、概ね一定の幅でＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に直線状に延びる長尺状に形成されており、ＳＡＷの伝搬方向（Ｄ１軸方向）に概ね一定の間隔で配列されている。１対の櫛歯電極１５の複数の電極指１９は、そのピッチｐ（例えば電極指１９の中心間距離）が、例えば、共振させたい周波数でのＳＡＷの波長λの半波長と同等となるように設けられている。波長λは、例えば、１．５μｍ以上６μｍ以下である。

 

　複数の電極指１９の一部においては、そのピッチｐが相対的に小さくされたり、逆に、ピッチｐが相対的に大きくされたりしてもよい。このような狭ピッチ部または広ピッチ部を設けることによって、ＳＡＷ素子の周波数特性が向上することが知られている。なお、本実施形態において、単にピッチｐ（電極指ピッチ）という場合、特に断りがない限り、狭ピッチ部および広ピッチ部のピッチｐを除く部分（複数の電極指１９の大部分）のピッチｐまたはその平均値をいうものとする。また、同様に、特に断りがない限り、単に電極指１９というときは、狭ピッチ部または広いピッチ部以外における電極指１９を指すものとする。

　複数の電極指１９の本数、長さ（Ｄ２軸方向）および幅ｗ（Ｄ１軸方向）は、ＳＡＷ素子１に要求される電気特性等に応じて適宜に設定されてよい。一例として、電極指１９の本数は１００以上４００本以下である。電極指１９の長さおよび幅ｗは、例えば、複数の電極指１９間で互いに同等である。なお、ｗ／ｐをデューティー比ということがある。ピッチｐと同様に、単にデューティー比という場合、特に断りがない限り、狭ピッチ部または広ピッチ部のような特異な部分を除く部分（複数の電極指１９の大部分）のデューティー比またはその平均値をいうものとする。

　ダミー電極２１は、例えば、一方の櫛歯電極１５において複数の電極指１９の中間位置にてバスバー１７から突出しており、その先端は、他方の櫛歯電極１５の電極指１９の先端とギャップを介して対向している。ダミー電極２１の長さおよび幅は、例えば、複数のダミー電極２１間で互いに同等である。

　反射器１３は、例えば、圧電基板７の上面上に形成された導電パターン（導電層）によって構成されており、平面視において格子状に形成されている。すなわち、反射器１３は、ＳＡＷの伝搬方向に交差する方向において互いに対向する１対のバスバー（符号省略）と、これらバスバー間においてＳＡＷの伝搬方向に直交する方向（Ｄ２軸方向）に延びる複数のストリップ電極（符号省略）とを有している。