和英特許翻訳メモ

便利そうな表現、疑問、謎、その他メモ書き。思いつきで書いてます。
拾った用例は必ずしも典型例、模範例ではありません。

多層配線、M0, M1

2023-03-09 15:00:12 | 電気

EUVを使わずに微細化の極限を目指す半導体製造技術、福田昭のセミコン業界最前線

「ボトム側の2層(M0とM1)はコバルトを主材料とする配線になり」

「Intelはボトム側の4層(M2~M5)についても銅配線にコバルトのクラッド層を追加することで、エレクトロマイグレーション寿命の確保を図っている」

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