排気する

WO2015073658(BROOKS AUTOMATION INC [US])
[0031] The vacuum load lock 1010 may be located between and connected to the mini-environment 1060 and the back end 1020.
【００１１】
  真空ロードロック１０１０は、ミニエンバイロメント１０６０とバックエンド１０２０との間に位置して、ミニエンバイロメント１０６０とバックエンド１０２０とに接続されてもよい。

It is noted that the term vacuum as used herein may denote a high vacuum such as 10-5 Torr or below in which the substrate are processed.
本明細書において使用される真空という用語は、基板が処理される、１０^-5Ｔｏｒｒ以下のような高真空を意味してもよい。

The load lock 1010 generally includes atmospheric and vacuum slot valves.
ロードロック１０１０は、一般的に、大気および真空スロットバルブを含む。

The slot valves
スロットバルブは、

may provide the environmental isolation employed to

evacuate the load lock after loading a substrate from the atmospheric front end and to maintain the vacuum in the transport chamber when venting the lock with an inert gas such as nitrogen. 
大気フロントエンドから基板を搭載した後に、ロードロック内を排気するために使用され、および、窒素などの不活性ガスを用いてロック内に通気するときに、搬送チャンバ内の真空を維持する

ために使用される環境隔離を提供する。

WO2022271383(APPLIED MATERIALS INC [US])
[0029] In some embodiments, the RF generator assembly 160 and RF generator 118 are
【００２２】
  [0029] 幾つかの実施形態では、RF生成器アセンブリ１６０及びRF生成器１１８が、

used to ignite and maintain a processing plasma 101 using the processing gases disposed in the processing volume 129 and fields generated by the RF power (RF signal) delivered to the support base 107 by the RF generator 118.
処理空間１２９内に配置された処理ガス、及び、RF生成器１１８によって支持ベース１０７に供給されたRF電力（RF信号）によって生成された電場を使用して、処理プラズマ１０１を点火し維持するために使用される。

The processing volume 129 is fluidly coupled to one or more dedicated vacuum pumps through a vacuum outlet 120,
処理空間１２９は、減圧出口１２０を介して１以上の専用減圧ポンプに流体結合されている。

which maintain the processing volume 129 at sub-atmospheric pressure conditions and evacuate processing and/or other gases, therefrom.
１以上の専用減圧ポンプは、処理空間１２９を準大気圧状態に維持し、処理空間１２９から処理ガス及び／又は他のガスを排気する。

In some embodiments, the substrate support assembly 136, disposed in the processing volume 129, is disposed on a support shaft 138 that is grounded and extends through the chamber base 124.
幾つかの実施形態では、処理空間１２９内に配置された基板支持アセンブリ１３６が、接地され且つチャンバベース１２４を貫通して延在する支持シャフト１３８上に配置される。

However, in some embodiments, the RF generator assembly 160 is configured to deliver an RF power to the bias electrode 104 disposed in the substrate support 105 versus the support base 107.
しかし、幾つかの実施形態では、RF生成器アセンブリ１６０が、支持ベース１０７に対して基板支持体１０５内に配置されたバイアス電極１０４にRF電力を供給するように構成される。

WO2019156753(VELTEK ASS INC [US])
 [0005] A negative air pressure room is maintained at an absolute air pressure that is either less than atmospheric pressure, less than the air pressure in spaces adjacent the clean room, or both.
【０００５】
  負圧の領域は、絶対圧が大気圧より低いか、またはクリーンルームに隣接する空間の空気圧より低く、あるいは両方より低く維持される。

The negative pressure is maintained by pumping air out of the room at a rate faster than that at which filtered and/or conditioned air is pumped into the room.
負圧は、濾過された、または空調された空気が区域内へ流入する量よりも速く領域の外へ排気することにより維持される。

Negative pressure rooms are often used when there is a concern that contaminants in the air in the room may pose a potential health threat to human health in adjacent spaces or the environment.
負圧の領域は、隣接する空間の人間や環境に対し、領域内の空気中の汚染物質が潜在的な健康への脅威となりうる懸念がある場合にしばしば用いられる。

WO2022265887(3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY [US])
In either process the vacuum molding roll sleeve 700 is mounted on rotatable backup roll 737.
 いずれのプロセスにおいても、真空成型ロールスリーブ７００は、回転可能なバックアップロール７３７に装着される。

Backup roll 737 may be expandable (e.g., a hydraulic pressurized backup roll) in order to ensure a snug frictional engagement between the vacuum molding roll sleeve and the backup roll.
バックアップロール７３７は、真空成型ロールスリーブとバックアップロールとの間のぴったりした摩擦係合を確実にするために、拡張可能（例えば、油圧加圧バックアップロール）であってもよい。

Other methods for securing the vacuum molding roll sleeve to the backup roll may be used (e.g., mechanical interlocking ridges/slots that securely engage corresponding structures on the backup roll, mechanical fasteners, or adhesive).
真空成型ロールスリーブをバックアップロールに固定するための他の方法を使用してもよい（例えば、バックアップロール上の対応する構造にしっかりと係合する機械相互連結リッジ／スロット、メカニカルファスナー、又は接着剤）。

In use, driving the backup roll causes the vacuum molding roll sleeve to rotate around a common axis.
使用時には、バックアップロールを駆動することにより、真空成型ロールスリーブが共通軸の周りを回転する。

During use, an external vacuum source may be applied to the vacuum ports, thereby evacuating the vacuum manifold in order to facilitate contact between molten or softened polymer and the molding surface.
使用中、外部真空源が真空ポートに適用されてもよく、それによって、溶融した又は軟化したポリマーと成型面との間の接触を促進するために、真空マニホールドを排気する。