反射波電力

WO2014143215
[0003] Plasma etching is frequently used in semiconductor fabrication.
プラズマエッチングは、半導体製造において頻繁に使用される。

In plasma etching, ions are accelerated by an electric field to etch exposed surfaces（＊複数）on a substrate.
プラズマエッチングでは、電界によってイオンを加速させて、基板の露出表面をエッチングする。

The electric field is generated based on RF power signals generated by a radio frequency (RF) generator of a RF power system.
電界は、RF電力システムの無線周波数(RF)発生器によって生成されたRF電力信号に基づいて生成される。

The RF power signals generated by the RF generator must be precisely controlled to effectively execute plasma etching.
RF発生器によって生成されるRF電力信号は、プラズマエッチングを効果的に実行するために、精確に制御しなければならない。

[0004] A RF power system（＊不定冠詞；上記のRF power systemを直接指していない；one and onlyではない）may include a RF generator, a matching network, and a load, such as a plasma chamber.
RF電力システムは、RF発生器、整合ネットワーク、およびプラズマチャンバなどの負荷を含むことができる。

 

The RF generator generates RF power signals, which are received at the matching network（＊定冠詞；なぜ？）.
RF発生器は、RF電力信号を生成し、この信号は整合ネットワークで受け取られる。

 

The matching network matches an input impedance of the matching network to a characteristic impedance of a transmission line between the RF generator and the matching network.
整合ネットワークは、整合ネットワークの入力インピーダンスを、RF発生器と整合ネットワークとの間の伝送線の特性インピーダンスに整合させる。

 

This impedance matching aids in minimizing an amount of power forwarded to the matching network ("forward power") and reflected back from the matching network to the RF generator ("reverse power").
このインピーダンスの整合は、整合ネットワークに送られる電力(「進行波電力(forward power)」)、および整合ネットワークからRF発生器に反射する電力(「反射波電力(reverse power)」)を最小限に抑える一助となる。

 

The impedance matching also aids in maximizing power forwarded from the matching network to the plasma chamber.
このインピーダンスの整合はまた、整合ネットワークからプラズマチャンバに送られる電力を最大にする一助となる。

 

[0005] In the RF power supply field, there are typically two approaches to applying the RF signal to the load.
RF電源の分野では、RF信号を負荷に印加するのに典型的には2つの手法がある。

 

A first, more traditional approach is to apply a continuous wave signal to the load.
第1の、より従来型の手法では、連続波信号を負荷に印加する。

 

The continuous wave signal is typically a sinusoidal wave that is output continuously by the power supply to the load.
連続波信号は、典型的には、電源によって負荷に連続して出力される正弦波である。

 

In the continuous wave approach, the RF signal assumes a sinusoidal output, and the amplitude and/or frequency of the sinusoidal wave can be varied in order to vary the output power applied to the load.
 連続波手法では、RF信号は正弦波出力を呈し、この正弦波の振幅および/または周波数は、負荷に印加される出力電力を変動させるように変動させることができる。

 

[0006] A second approach to applying the RF signal to the load involves pulsing the RF signal, rather than applying a continuous wave signal to the load.
RF信号を負荷に印加する第2の手法は、連続波信号を負荷に印加するのではなく、RF信号をパルス化させるものである。

 

In a pulsed mode of operation, a RF sinusoidal signal is modulated by a modulation signal in order to define an envelope for the modulated sinusoidal signal.
パルス化動作モードでは、RF正弦波信号は、変調された正弦波信号のエンベロープを画定するように、変調信号によって変調される。

 

In a conventional pulsed modulation scheme, the RF sinusoidal signal typically is output at a constant frequency and amplitude.
従来のパルス化変調方式では、RF正弦波信号は、典型的には一定周波数、および一定振幅で出力される。

 

Power delivered to the load is varied by varying the modulation signal, rather than varying the sinusoidal, RF signal.
負荷に送達される電力は、正弦波形のRF信号を変動させるのではなく、変調信号を変動させることによって変動させる。

 

The modulation may be amplitude modulation for on/off pulse sequences. The amplitude modulation may be multilevel.
この変調は、パルスシーケンスをオン/オフするための振幅変調でよい。振幅変調は、多重レベルでもよい。

 

WO2007081369

[0058] The FPGA 33 of the present example can also be used to protect the RF power amplifier 39 from excessive reflected power that could cause damage to the amplifier.
本実施例に係るＦＰＧＡ３３は、増幅器を故障させうる電力の過大な反射からＲＦ電力増幅器３９を保護するために使用可能となっている。

 

The RF power amplifier 39 generates signals proportional to the forward and reflected power.
ＲＦ電力増幅器３９は、進行波電力及び反射波電力に比例した信号を発生させる。

 

These signals are compared to predetermined values so as to produce a reflected power warning signal at any time that the Voltage Standing Wave Ration (VSWR) of the RF power amplifier 39 exceeds 1.6 (representing approximately 10% reflected power).
これらの信号は、所定の値と比較され、ＲＦ電力増幅器３９でのＶＳＷＲ（Voltage Standing Wave Ratio）が１．６（約１０％の電力が反射されることを示す）を超えたとき、いつでも反射波警告信号を発生する。

 

As the skilled reader will appreciate, the VSWR is an unavoidable feature of a RF system.
当業者は理解するように、１を超えるＶＳＷＲは、ＲＦシステムの回避できない特性である。

 

In general terms, it is caused by mismatches in component impedances in the signal path.
平たく言えば、これは、信号経路におけるインピーダンス成分の不整合による。

 

The circumstances when such a value of the VSWR might be expected to reach such a level in the present example include a failure in the laser or matching network (the components within the laser arranged to balance the input impedance for the RF laser drive signal with the output impedance of the RF power amplifier).
本実施例において、ＶＳＷＲのそのような値がそのよう範囲に達することが予期される状況では、レーザ又はマッチング網（ＲＦレーザ駆動信号についての入力インピーダンスとＲＦ電力増幅器の出力インピーダンスとのバランスを取るためにレーザ内に設けられている部材）における不整合の可能性が存在する。

 

The reflected power warning signal is monitored by the FRGA 33. The FPGA 33 is operable to interrupt the RF drive signal from the laser control board 31 to the RF power amplifier 39 in the case that the reflected power is too great for too long.
反射電力警告信号は、ＦＰＧＡ３３によってモニタされる。ＦＰＧＡ３３は、レーザ制御ボード３１からＦＲ電力増幅器３９へのＲＦ駆動信号を、反射電力が長時間に亘り大きすぎる場合に、介在可能になっている。

 

In the present example, the RF power amplifier 39 has a tolerance for high reflected power such that it cannot operate with a VSWR greater than 1.6 for more than 200 microseconds or a duty cycle above 10%.
本実施例において、ＲＦ電力増幅器３９は、ＶＳＷＲが１．６を超えて２００μｓ以上又はデューティ比１０％以上で動作できないように、高い反射電力に対して設定された許容範囲を有する。

 

The FPGA of the present example is operable to control the RF drive signal to prevent these conditions being exceeded in RF drive signals having pulses at a frequency of up to
本実施例に係るＦＰＧＡは、パルスを有するＲＦ駆動信号が上記の周波数でこれらの範囲を越えることを防止するようにＲＦ駆動信号を制御可能となっている。

 

US6943618
I-channel 40 may also include limiter block 30, and Q-channel 42 may include limiter block 32.
Ｉ－チャンネル４０はリミッタブロック３０をも含むことがあり、Ｑ－チャンネル４２はリミッタブロック３２を含み得る。

 

Limiter blocks 30 and 32 preferably limit the amplitudes of the corresponding signals to remove the amplitude information before the signals are provided to the demodulator 50.
リミッタブロック３０および３２は、信号が復調器５０に供給される前に振幅情報を除去するために、相当する信号の振幅を制限することが好ましい。

 

At least one of the limiter blocks 30 and 32 may contain an RSSI (Receive Signal Strength Indicator) output that can be used for Forward-and-Reverse link power management for DSSS applications or for demodulating ASK (Amplitude Shift Key) or OOK (On Off Key) signals.
リミッタブロック３０および３２のうち少なくとも一方は、ＤＳＳＳアプリケーションまたは復調ＡＳＫ（振幅シフトキーイング）またはＯＯＫ（オンオフキーイング）信号のための進行波－反射波電力管理に使用可能なＲＳＳＩ（受信信号強度表示器）出力を含み得ることが好ましい。

 

One such power management approach is described in U.S. patent application Ser. No. 09/311,250, entitled "Wireless System With Variable Learned-In Transmit Power".
そのような電力管理手法の１つは「Ｗｉｒｅｌｅｓｓ  Ｓｙｓｔｅｍ  Ｗｉｔｈ  Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｌｅａｒｎｅｄ－Ｉｎ  Ｔｒａｎｓｍｉｔ  Ｐｏｗｅｒ」というタイトルの米国特許出願第＿＿＿＿＿＿＿号の中で説明されている。

 

The RSSI signal may also be used by AFC (Automatic Frequency Control frequency tracking) or AGC (Automatic Gain Control dynamic range enhancement), or both.

このＲＳＳＩ信号はＡＦＣ（自動周波数制御による周波数トラッキング）またはＡＧＣ（自動利得制御びよるダイナミックレンジ拡張）、または両方に使用されることもまたあり得る。