弾性波共振子

WO2020092414
[0002] This disclosure relates to radio frequency filters using acoustic wave resonators, and specifically to filters for use in communications equipment.【０００１】
  本開示は、弾性波共振子を用いた高周波フィルタに関し、特に通信機器において使用するためのフィルタに関する。

US9568444
[0020] The present invention meets the above-identified needs by providing apparatus such as an off-the-shelf surface acoustic wave resonator having an electrode array or a specially fabricated electrode array. 
【００１８】
  本発明は、電極アレイまたは特別に作製された電極アレイを有する市販の表面弾性波共振子などの装置を提供することにより、上記需要に応える。

US11437974(JP, Murata)
[0024] As shown in FIG. 2, an IDT electrode 8 is provided on the piezoelectric layer 6 of the multilayer body 12 .
【００１６】
  図２に示すように、積層体１２の圧電体層６上には、ＩＤＴ電極８が設けられている。

By applying an AC voltage to the IDT electrode 8 , an acoustic wave is excited.
ＩＤＴ電極８に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。

A pair of a reflector 9 A and a reflector 9 B are provided on both sides in an acoustic wave propagation direction of the IDT electrode 8 on the piezoelectric layer 6 . 
圧電体層６上におけるＩＤＴ電極８の弾性波伝搬方向両側には、一対の反射器９Ａ及び反射器９Ｂが設けられている。

The acoustic wave device 1 according to the first preferred embodiment is an acoustic wave resonator.
本実施形態の弾性波装置１は弾性波共振子である。

However, the acoustic wave device according to preferred embodiments of the present invention is not limited to an acoustic wave resonator,
本発明に係る弾性波装置は弾性波共振子には限定されず、

and may be, for example, a filter device including a plurality of acoustic wave resonators, a multiplexer including the filter device, or the like.もっとも、複数の弾性波共振子を有するフィルタ装置や、該フィルタ装置を含むマルチプレクサなどであってもよい。

US2022069803(JP, Kyocera)
[0037] In the example illustrated in FIG. 1, the conductive layer 9 is formed to constitute a resonator 15 .
【００２０】
  導電層９は、図１の例では、共振子１５を構成するように形成されている。

The resonator 15 is configured as a so-called one-port elastic wave resonator.
共振子１５は、いわゆる１ポート弾性波共振子として構成されており、

In response to input of an electric signal having a predetermined frequency from one of terminals 17 A and 17 B, which are conceptually and schematically illustrated, the resonator 15 is capable of generating resonance
概念的かつ模式的に示す端子１７Ａおよび１７Ｂの一方から所定の周波数の電気信号が入力されると共振を生じ、

and outputting a signal caused by the resonance from the other of the terminals 17 A and 17 B.
その共振を生じた信号を端子１７Ａおよび１７Ｂの他方から出力可能である。

US2021184654(JP, Murata)
[0006] The inventors of preferred embodiments of the present invention discovered that a plurality of spurious responses appear on the high-frequency side of the utilized main mode in an acoustic wave resonator in which a lithium tantalate film is directly or indirectly stacked on a silicon support substrate.
【０００６】
  ところで、本願の発明者らは、シリコン支持基板上に、直接または間接に、タンタル酸リチウム膜が積層されている弾性波共振子では、利用するメインモードよりも高周波数側に、複数のスプリアスが現れることを見出した。

When such an acoustic wave resonator is used in an acoustic wave filter having a lower pass band in an acoustic wave device, there is a danger that a spurious response that appears in this acoustic wave filter will appear in the pass band of another acoustic wave filter having a higher pass band.
このような弾性波共振子を、弾性波装置における通過帯域が低い側の弾性波フィルタに用いた場合、該弾性波フィルタで現れるスプリアスが、通過帯域が高い側の他の弾性波フィルタの通過帯域に現れるおそれがある。

Therefore, there is a risk of the filter characteristics of the other acoustic wave filter being degraded.
よって、他の弾性波フィルタのフィルタ特性が劣化するおそれがある。

US2021152153(JP, Kyocera)
[0002] Known in the art is an acoustic wave resonator having an IDT (interdigital transducer) electrode as an excitation electrode and reflectors arranged on the two sides thereof (for example Patent Literature 1).
【０００２】
  励振電極としてのＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極と、その両側に配置された反射器とを有する弾性波共振子が知られている（例えば特許文献１）。

The IDT electrode has pluralities of electrode fingers, while the reflectors have pluralities of reflector electrode fingers.
ＩＤＴ電極は複数の電極指を有しており、反射器は、複数の反射器電極指を有している。

The pluralities of electrode fingers and pluralities of reflector electrode fingers extend in a direction perpendicular to the direction of propagation of the acoustic wave and are arranged in the direction of propagation of the acoustic wave.
複数の電極指および複数の反射器電極指は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に延びるとともに、弾性波の伝搬方向に配列されている。