伝送路

WO2013058730
Embodiments of the present invention are applicable for use with all types of semiconductor integrated circuit ("IC") chips.
【００２３】
  本発明の実施の形態は、全てのタイプの半導体集積回路（IC）チップと共に使用可能である。

Examples of these IC chips include but are not limited to processors, controllers, chipset components, programmable logic arrays (PLAs), memory chips, network chips, systems on chip (SoCs), SSD/NAND controller ASICs, and the like.
これらのICチップの具体例は、例えば、プロセッサ、コントローラ、チップセット要素、プログラマブル論理アレイ（PLA）、メモリチップ、ネットワークチップ、システムオンチップ（SoC）、SSD/NANDコントローラASIC等であるが、これらに限定されない。

In addition, in some of the drawings, signal conductor lines are represented with lines. Some may be different, to indicate more constituent signal paths, have a number label, to indicate a number of constituent signal paths, and/or have arrows at one or more ends, to indicate primary information flow direction.
更に、図中、信号導通ラインが線又はラインで表現されている。より多い種類の信号経路を区別するために幾つかは異なっていてもよいし、多数の信号成分経路を指定するために番号ラベルを有していてもよいし、及び/又は主要な情報が流れる向きを示すために1つ以上の端部に矢印を付けててもよい。

This, however, should not be construed in a limiting manner.
しかしながらそれは限定の仕方として解釈されるべきではない。

Rather, such added detail may be used in connection with one or more exemplary embodiments to facilitate easier understanding of a circuit.
むしろ、そのような付加的な詳細情報は回路の理解を促すように1つ以上の実施形態に関して使用されてよい。

Any represented signal lines, whether or not having additional information,
付加的な情報を有しているか否かによらず、表現されている任意の信号ラインは、

may actually comprise one or more signals that may travel in multiple directions
実際には複数の方向に流れる1つ以上の信号を有し、

and may be implemented with any suitable type of signal scheme, e.g., digital or analog lines implemented with differential pairs, optical fiber lines, and/or single-ended lines.
適切な何らかのタイプの信号形式（例えば、差動対で実施されるディジタル又はアナログ伝送路、光ファイバ伝送路、及び/又はシングルエンド伝送路等）により実施されてもよい。

US10943768
[0005] Typical high-frequency radiation systems, for example those to form a microwave plasma, use a singular, large source of high-frequency or microwave radiation (e.g., a magnetron) and a transmission path for guiding the microwave radiation from the magnetron to the processing chamber.
【０００３】
  典型的な高周波放射システム（例えばマイクロ波プラズマを形成するためのもの）では、単体の大型の高周波又はマイクロ波の放射源（マグネトロンなど）と、マグネトロンから処理チャンバにマイクロ波放射を誘導するための伝送路とが使用される。

For example, in typical high power microwave applications in the semiconductor industry the transmission path is a microwave waveguide.
例えば、半導体産業における典型的な大電力マイクロ波応用では、伝送路はマイクロ波導波管である。

Waveguides are used because outside of a waveguide designed to carry the specific frequency of the microwave source, the microwave power attenuates rapidly with distance.
マイクロ波源の特定の周波数を搬送するよう設計された導波管の外部では、マイクロ波電力が距離と共に急速に減衰するので、導波管が使用される。

Additional components, such as tuners, couplers, mode transformers, and the like are also required to transmit the microwave radiation to the processing chamber.
マイクロ波放射を処理チャンバに伝送するには、更なる構成要素（例えばチューナ、カプラ、モード変換器など）も必要になる。

These components limit the construction to large systems (i.e., at least as large as the sum of the waveguide and associated components), and severely limit the design.
これらの構成要素により、システムの構築が大型の（すなわち、少なくとも導波管と関連構成要素とを合わせたのと同等の大きさの）ものに制限され、かつ、その設計も大幅に制限される。

As such, the geometry of the high-frequency radiation field, which may be used to form a plasma, is constrained
これにより、プラズマを形成するために使用されうる高周波放射電磁界（ｒａｄｉａｔｉｏｎ  ｆｉｅｌｄ）の形状寸法も制約を受ける。

since the geometry of the high-frequency radiation field resembles the shape of waveguides.
高周波放射電磁界の形状寸法は導波管の形状に類似するからである。

EP3189603
[ 0002 ] The disclosure relates generally, but not exclusively, to optical communications, e.g. apparatus, systems and methods related to loading of optical transmission paths.
【０００２】
  本開示は、一般に、光通信、例えば、光伝送路のローディングに関連する装置、システムおよび方法に関するが、これには限らない。