processとtreat, treatとprocess
よく分からないtreatmentとprocessingの使い分け
表面処理：surface treatmentが多い（表面を処理）
基板処理：substrate processingが多い（基板を処理）
プラズマ処理：plasma processing, plasma treatment（プラズマで処理）
Ludwig/Intel/Applied Mat/Lam Research
plasma processing: 60/36/4728/3417
plasma treatment: 60/105/1766/286
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