US2021398772(AXCELIS TECH INC [US])
[0044] Ions within the ion beam 112 generally travel in the same direction with some degree of distribution (e.g., divergence) around a mean value of an angular distribution.
【００４４】
イオンビーム１１２内のイオンは一般に、角度分布の平均値の周りにある程度の分布（例えば、発散）を伴って同じ方向に移動する。
Accordingly, the present disclosure contemplates that during ion implantation, a constant angle of incidence, i.e., a mean angle of the distribution, across the surface of the workpiece 120 is an important consideration.
したがって、本開示は、イオン注入中、ワークピース１２０の表面にわたる一定の入射角、すなわち分布の平均角度が重要な考慮事項であることを企図する。
US2023259732(PASCAL TAGS INC [US])
a charged polarizer layer that is non-conductive but may include a charged boundary to only allow particular detection signals to pass therethrough (e.g., possessing a certain angle of incidence, polarization, frequency, power, and/or phase).
非導電性であるが、（例えば、一定の入射角、偏波、周波数、電力、及び／又は位相を有する）特定の検出信号のみを通過させることを可能にするためにのみ帯電境界を含むことができる電荷分極層
