WO2004061934
FIG. 2 illustrates one embodiment of an opto-electronic or electromechanical flip-chip assembly with selective underfill, in accordance with the present invention at 200.
【0017】
図2の符号200に、本発明の一実施形態による選択的アンダーフィルを備えた光電子、又は電気機械フリップチップアセンブリを示す。
Selective underfill flip-chip assembly 200 includes one or more opto-electronic or electromechanical flip chips 210 containing at least one solder ball or solder bump 220 electrically connected to a substrate or printed wiring board (PWB) 230,
選択的アンダーフィルフリップチップアセンブリ200は、基板、即ちプリント配線板(PWB)230に電気接続された少なくとも一つのはんだボール、又ははんだバンプ220を有する、一つ以上の光電子、又は電気機械フリップチップ210と、
and selective underfill material 240 between the bumped surface of flip chip 210 and PWB 230.
フリップチップ210のバンプ形成面とPWB230との間に存在する選択的アンダーフィル材240とを有する。
US8148771(JP)
In the semiconductor device 106 according to the sixth embodiment, the bump 21 of the through electrode 20 is connected to the side opposite the bump-forming surface of another through electrode 20 such that the vertically stacked semiconductor devices are connected with each other via the through electrode 20.
【0071】
実施例6に係る半導体装置106によれば、貫通電極20におけるバンプ21を、他の貫通電極20におけるバンプ形成面の反対側と接続することで、上下の半導体装置を貫通電極20を介して接続することができる。
The plurality of the vertically stacked semiconductor devices 100 may be mounted on the interposer 50, thus enhancing the packaging density of the semiconductor device.
また、複数の半導体装置100を中継基板50上に積層して実装することができる。これにより、半導体装置の実装密度を高めることができる。
The bump 21 protruding outside the semiconductor device 100 is capable of absorbing the irregularity of the mounted surface, even if the mounted surface is not flat. Therefore, the semiconductor device 100 may be stably mounted.
また、バンプ21は半導体装置100の外部に突出しているため、実装面が平坦でない場合であっても、バンプ21が実装面の凹凸を吸収することにより半導体装置100を安定して実装することができる
EP3373326(JP)
[0004] The semiconductor chip that is used in this mounting method is obtained by, for example, grinding a surface opposite to a circuit surface of a semiconductor wafer having bumps formed on the circuit surface and dicing the semiconductor wafer into pieces.
【0003】
この実装方法で用いる半導体チップは、例えば、回路面にバンプが形成された半導体ウエハの、回路面とは反対側の面を研削したり、ダイシングして個片化することにより得られる。
In the process of obtaining the above-described semiconductor chip, generally, for the purpose of protecting the circuit surface and the bumps of the semiconductor wafer, a curable resin film is attached to the bump-formed surface, and this film is cured so as to form a protective film on the bump-formed surface.
このような半導体チップを得る過程においては、通常、半導体ウエハの回路面及びバンプを保護する目的で、硬化性樹脂フィルムをバンプ形成面に貼付し、このフィルムを硬化させて、バンプ形成面に保護膜を形成する。
Typically, after being attached onto the bump-formed surface, this curable resin film
この硬化性樹脂フィルムは、典型的には、バンプ形成面に貼付した後、
has an increase in fluidity by heating, spreads between the bumps, and is close contact with the circuit surface while an upper area including a top surface of the bump and the vicinity thereof are penetrating the curable resin film.
加熱によって流動性を増大させることで、バンプの頂上とその近傍を含む上部領域は貫通させて露出させつつ、バンプ間に広がって、回路面と密着するとともに、
The curable resin film embeds the bump while covering the surface of the bump, particularly, the surface of a portion in the vicinity of the circuit surface.
バンプの表面、特に前記回路面近傍部位の表面を覆って、バンプを埋め込む。
The protective film formed by curing the curable resin film in such a state protects the bump on the circuit surface being in close contact with the surface.
この状態の硬化性樹脂フィルムを硬化させることで形成された保護膜は、前記回路面においてバンプをその表面に密着した状態で保護する。
US10294395(JP)
First, the adhesive composition film is bonded to the second circuit member which is the circuit board or semiconductor chip provided with a wiring pattern.
【0042】
まず、接着剤組成物フィルムを、第二の回路部材である、配線パターンが形成された回路基板または半導体チップに貼り付ける。
Here, the adhesive composition film may be cut to a predetermined size, and then bonded to a wiring pattern surface of the circuit board provided with a wiring pattern, or a bump-formed surface of the semiconductor chip.
このとき、接着剤組成物フィルムは、所定の大きさに切り出した後で、配線パターンが形成された回路基板の配線パターン面または半導体チップのバンプ形成面に貼り付けてもよい。
Alternatively, the adhesive film may be bonded to a bump-formed surface of a semiconductor wafer, followed by dicing and individualizing the semiconductor wafer to prepare a semiconductor chip with the adhesive film bonded thereto.
また、半導体ウエハのバンプ形成面に接着剤フィルムを貼り付けた後、半導体ウエハをダイシングして個片化することによって、接着剤フィルムが貼り付いた半導体チップを作製してもよい。