電力の大きさ

US10867776(APPLIED MATERIALS INC [US])
[0030] Because coil portion 130 of the electromagnet described herein is disposed within the vacuum-containing portion of PVD chamber 100 , cooling of coil portion 130 is limited.
【００２５】
  本明細書に記載される電磁石のコイル部分１３０はＰＶＤチャンバ１００の真空収容部分内に配設されるので、コイル部分１３０の冷却は制限される。

As a result, the magnitude of DC power applied thereto by DC power source 155 can be limited due to the potential for overheating of coil portion 130 during longer duration recipes. 
その結果、ＤＣ電源１５５によってコイル部分１３０に印加されるＤＣ電力の大きさは、期間のより長い方策の間にコイル部分１３０が過熱する可能性があるために、制限されることがある。