表面粗さ測定、表面形状測定

US2014005030
The depth scales were based on sputter rates calculated from the depths of the analytical craters in the glass, as measured by stylus profilimetry with NIST traceable calibration. 
深さの目盛りは、ＮＩＳＴトレーサブル校正を伴う触針式表面粗さ測定機により測定したガラス内の分析に用いたクレータの深さから算出したスパッタレートを基準とした。

US2020001568
[0109] In some configurations, an exterior surface of the backing layer comprises a surface roughness of less than 12 microns in the machine direction and less than 17 microns in the cross direction as tested using a stylus profilometer.
【００８６】
  いくつかの構成で、裏打ち層の外面は、触針式段差計を使用して試験した場合、機械方向に１２マイクロメートル未満、直交方向に１７マイクロメートル未満の表面粗さを備える。

US2021189175
Surface Roughness Test Method 1:
【００７０】
  表面粗さ試験方法  １：

Surface roughness measurements; including Ra, Rmax, and Rz; were made using a contact stylus profilometer, Model P-16+ available from KLA-Tencor Corporation, Milpitas, Calif.
表面粗さ測定（Ｒａ、Ｒｍａｘ、及びＲｚを含む）は、ＫＬＡ－Ｔｅｎｃｏｒ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（Ｍｉｌｐｉｔａｓ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ）から入手可能な触針を有する表面形状測定装置、モデルＰ－１６＋を使用して行った。