450mmウェーハ量産の行方 2007-12-16 | 微細化／大口径化動向 「2014年には、450mmウェーハによるＬＳＩの量産を始めたい。」 米インテルが，7月の 「SEMICON West2007」 のサプライヤ向け会議でこのように明言した。同社が本気の姿勢を示したことで、Siウェーハ径の450mmへの移行に関する議論は、にわかに活発化し始めている。 ●米インテルが推進 装置メーカーは消極的 米インテルの意向を反映する形で、米IＳＭＩ （Inter . . . 本文を読む
