小さな巨人Ⅴ

 

 　　　　　　 　        　 　　告子（こくし）篇　　  ／　   孟子　　  

　　　　　　　　　 　　　         　　　　　 　　　　   

 　　　　　　　 　　　※　美人はだれが見ても美しい：豊作の年には、青年たちにしっ
　　　　　　　　　　　　　かり者が多いのに、不作の年には乱暴昔が多い。天がそうい
　　　　　　　　　　　　　う異なった性質を与えたわけではない。心を惑わせるような
　　　　　　　　　　　　　環境が、そうさせるのだ。かりに大麦をまいて、土をかけた
　　　　　　　　　　　　　としよう。土地も時期も同じなら、やがて盛んに芽を出し、
　　　　　　　　　　　　　夏にはそろって実るはずである。かりにそろわなかったとし
　　　　　　　　　　　　　ても、ただ地味、水分、手入れが一様でなかったからにすぎ
　　　　　　　　　　　　　ない。同類である以上、たいしたちがいはないのだ。人間だ
　　　　　　　　　　　　　からといってけっして例外ではない。聖人もわれわれと同類
　　　　　　　　　　　　　である。　　
　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　むかし、賢者の竜子はこう言った。
　　　　　　　　　　　　「寸法をとらずに草履を作っても、モッコほど大きくなるもの　　　　　
　　　　　　　　　　　　　でもない。草履の大きさ、形が大体同じなのは、だれの足も
　　　　　　　　　　　　　似たりよったりであるからだ。人の味覚も大体同じである。
　　　　　　　　　　　　　易牙（料理の名人）は味覚の好みを最初に見出した人である。
　　　　　　　　　　　　　もし、われわれのたがいの味覚が、生まれつき、犬馬と人間
　　　　　　　　　　　　　ほどちがっているとすれば、易牙の料理をあらゆる人がうま
　　　　　　　　　　　　　いと認めるはずがない。うまいものといえば易牙の料理とさ
　　　　　　　　　　　　　れるのは、万人の味覚が共通しているからである。

　　　　　　　　　　　　　人の聴覚も同じこと、妙音といえば師願（諧の平公のときの
　　　　　　　　　　　　　楽師）の音楽とされるのは、万人の聴覚が共通しているから
　　　　　　　　　　　　　である。視覚もまたしかり、子都（むかしの有名な笑男子。
　　　　　　　　　　　　　『詩経』にその名が見える）といえば、だれひとりかれの美
　　　　　　　　　　　　　しさを知らぬ者はない。知らないのは盲人ぐらいのものだ。
　　　　　　　　　　　　　要するに、うまい料理はだれの口にもうまく、すばらしい音
　　　　　　　　　　　　　楽はだれの耳にも快く、美人はだれの眼にも美しい。とすれ
　　　　　　　　　　　　　ば、だれの心にも肯定できるもの、それもまた存在するはず
　　　　　　　　　　　　　である。万人の心が肯定するもの、それは理であり、義であ
　　　　　　　　　　　　　る。型人とは、このような万人が肯定するものを址初に見出
　　　　　　　　　　　　　した人にほかならない。理と義がわれわれの心を喜ばせるの
　　　　　　　　　　　　　は、牛や豚の肉がわれわれの味覚を楽しませるようなもので
　　　　　　　　　　　　　ある。

 

　　　　　　　　　　　　【解説】「理義」ということばは、宋代の学者たちによって神
　　　　　　　　　　　　　秘化されてしまったが、理とは道理にかなうこと、義とは物
　　　　　　　　　　　　　事の宣しきにかなうことで、要するに理性的であることだ。
　　　　　　　　　　　　　反理性的生活はけっしてわれわれを幸福にはしない。「自由
　　　　　　　　　　　　　とは放恣することではない。合理的に行動しうることである」
　　　　　　　　　　　　　（マックス・ウーェバー） 

      
    　No.148 

【サーモタイル篇：最新光レクテナ技術Ⅲ】 

 ●　28.3THzにおけるAl2O3系MIM受動レクテナによる光整流  

【材料と方法】

 ２． MIMダイオードのシミュレーション

MIMダイオードのトンネル特性およびDC性能を評価するには、選択した材料セットの初期シミュレーショ
ンを行うことが重要。この目的として量子力学的シミュレータが使用され、これは参考文献で詳細に説明。
シミュレータはトンネル障壁の形状を異なる電圧値で、伝達行列法を用いてトンネリング確率を計算、ト
ンネリング電流は、電子のトンネル確率とフェルミ分布から計算。

障壁の形状は、金属の仕事関数、絶縁体の電子親和力、および印加電圧バイアスによって決定される。
Al2O3電子親和力（χAl2O3）は、1.5eVから3.5eVまで変化した。なぜなら、これらはこの絶縁体に関する
文献で報告された上限および下限。この領域は、200nmのエッジ長さを有する正方形と見す。AuおよびTi
の仕事関数の開始値は、前のセクションで述べたように5.1eVおよび4.3eVであるが、これらの値はナノ製
造プロセスに関与するさまざまなパラメータで異なる可能性がある。例えば、Auの仕事関数とAl2O3の電
子親和力の両方を変える原子層堆積（ALD）法を用い酸化物を堆積させると、AuはAl2O3に拡散する。した
がって、シミュレーションでは、Auの仕事関数（ΦAu）を5.1eVから4eVまで変化させ、Tiの仕事関数（ΦTi）
を4.3eVから3.5eVまで変化させた。図４は、Al2O3の電子親和力として1.5eVを用いたAuおよびTiの仕事関
数の標準値に対するシミュレーションされたゼロバイアスダイオード抵抗（R 0）およびゼロバイアス応
答度（β0）を示しており、図５は様々な組み合わせに対するいくつかの結果で、図５から分かるように金
属の仕事関数が低下し、絶縁体の電子親和力が増加すると、ゼロバイアス応答性が増加し、抵抗が減少す
る。これは、電子親和力の増加に伴ってバリアハイトが減少し、トンネルプロセスが容易になるために期
待される。同様に、金属間の仕事関数の差を増加させることはまた、トンネリングを容易にし、その結果
抵抗がより低くなる。

 

 
図３（a）中央にレクテナスタックとMIMダイオード（b）空気とAl2O3と重なったアンテナの電界強度、
　　（c）アンテナ効率と入力抵抗

図４．Au-Al2O3（1.5nm）-Ti MIMダイオードの予想されるI（V）特性、抵抗および応答性をシミュレート図。ΦAu=
　　　 5.1eV、χAl2O3= 1.5eV、t = 1.5nm、ΦTi= 4.33eV　  （a）測定されたI（V）データ、それに対応する7次の適合、
　　　 およびシミュレートされたI（V）。 （b）シミュレートされたデータから計算された応答性および抵抗。 エッジの長
　　　 さは200nm。

図５．Au-Al2O3（1.5nm）-Ti MIMダイオードの予想されるI（V）特性、抵抗および応答性をシミュレート図
　　　  （a）応答計算値、 （b）抵抗計算値

【デバイス製造法】

デバイス特性と材料スタックとの間の関係をシミュレーション評価した後、材料、誘電率および選択膜厚
がMIMダイオード性能の決定に重要な役割を果たす。これらの全体的考慮から、MIMダイオードの製造を
が行う。使用デバイスは、Si / SiO 2基板で行われ。高抵抗（p型;ボロンドープ、抵抗率10000Ω-cm）のSi（
100）ウェハを使用し、アンテナフィードから基板への電流漏れを低減することで、アンテナの性能を改
善する。前項で述べたように、アンテナとシリコン基板の間にショットキーダイオードを形成させないた
めに、図６（a）に示すようにSi基板上に厚さ1.5μmのSiO2を熱成長させ、次に、BOE（緩衝酸化物エッチ
ャント：1nm / sエッチングレート）を用いてSiO2をウェーハの裏面のみから除去し、別の導電層を堆積し
アンテナと基板結合を強化（図６（b）） 。このため、10nm / 200nmのCr / Au金属層をSiウェーハの裏面
にスパッタリング処理。次に、図６（c-f）の回路を図示するように、レクテナ設計の第１ボトムアーム
を製作する。デバイスは、主金属材料のリフトオフプロセスでパターン形成する。

まず、図６（c）ように、厚さ約200nmのポジ型電子線レジスト（PMMA）をSi / SiO2の上面にスピンコー
トし感光性ポリマーとして作用させ、パターン露光）。次いで、EBL（Model CRESTEC、CABL-9520C）を
用いて、バイアスパッド（200μm角の四角形）と共に蝶ネクタイ型アンテナ（2.7μmアーム長）形状を有
する底部アームをパターン形成。 EBL曝露後（電流I＝ 500pA、露光量1.1μA/ s）、パターンはメチルイソ
ブチルケトン（MIBK）、イソプロピルアルコール（IPA）の溶液中で1：1の比率で60秒間現像された（図
６（d））。現像後、O2プラズマを用いて残留レジストを除去。次に、10nm / 80nmのCr / Au膜をスパッタ
リングを用いて堆積させ、最後にリフトオフプロセスおよびアセトン中での５分間の超音波処理し、パタ
ーン化する（図６（e-f））。

図６．レクテナ装置の第１アームの製作。 a）Si / SiO2、b）バックリフレクター（Au）蒸着、c）EBLに
　　　よる第1アーム露光、d）MIBKとIPA現像剤の混合物を用いて露光されたレジストを1：1の比率で除
　　　去する。 Cr / Au、f）リフトオフ後の最初のアーム。

酸化物を堆積させ、第２頂部アームに重なるように、電子ビームレジストを再び第１アームの上にスピン
コートし、EBLにより露出させて約150nmのオーバーラップ面積を生じさせた（図７（a-b） ）。この重
要なシャープなオーバーラップ実現に、アライメント手順が、グローバルおよびローカルアライメントマ
ークプロセスの正確なステップで実行。先にEBL露光について述べたのと同じパラメータを用いて、図７
（c）に示すように、パターン形成されたレジストを再び現像した。次に、アームの比較的高いアスペク
ト比構造にわたり均一かつ共形堆積の確実に、1.5nmの薄いAl2O3膜をALDを用いて堆積させた（図７（d）
）。最後に、図７（e）に示すように、上部金属の堆積（チタン80nm）を行う。プラズマおよびイオン衝
撃による表面損傷低減に、従来のスパッタリングツールの代わりに電子ビーム蒸着を選択。 Ti金属のパ
ターニングは、サンプルをアセトン中で５分間超音波処理し、リフトオフプロセスを再び行う（図７（f））。

図７．図7.最終的なレクテナ装置の製作　 a）第1アーム、b）第2アームのアライメント及びEBLによる露
　　　光、c）MIBK及びIPA現像剤の混合物を用いて露光されたレジストを1：1の比率で除去する、d）レジ
　　　スト現像後に酸化物層堆積e） 70nm）電子ビーム、f）リフトオフ後の最終レクテナ装置

最後のレクテナデバイスのSEM画像を図８に図示。この図では、２つの異種金属（AuとTi）の間に酸化物
（Al2O3）を挟んでトンネリングダイオードを作製。 SEM画像から明らかに明らかなようにアンテナアー
ムの先端間の位置合わせは成功裏に実現され、製造中に200nmの重なり領域が達成された。

 

図８．トンネルダイオードが２つの異種金属により実現、200nmの重なりを有するレクテナ
　　　（Au / Al 2 O 3 / Ti）のSEM像

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　この項つづく 

    

 

❦　なぜ、かまぼこ屋がエネルギーのことを考えたのか　❦ No.5

  　　 ●　グローバルからローカルへ  

　　そういう経験をしてに日本本に帰ってきて、家業の・かまぼこ屋の仕事に就きました。大学を出て、
　すぐにアメリカヘ渡ったために地元の人とのつながりが希薄になってしまったため、たまたま大学の
　先輩がいたこともあり、小田原の商工会議所青年部に入れていただきました．やがて、２０００年に
　小田原の青年部の会長、２００３年には２万８０００社の会員を持つ全国組織である日本商工会議所
　青年部の会長職を仰せつかりました、
　　任期中、日本国中を何度もぐるぐるまわったわけですが、この什嘔でなかったら絶対に訪れなかっ
　たであろう場所を見て、知り合うこともなかったであろう人に会い、実に貴重な財産をたくさん築い
　たように思います。その活動を通じて見えてきたのは、首都圏育ちの私にはいままで見えていなかっ
　た地域の姿であり、個性豊かな歴史・風土に育まれたその上地の魅力とそれを支える人のつながりで
　した。日本という国は個性豊かな地域に、個性豊かな人たちがいて、実に個性豊かな地域が運なって
　いる、これがこの国前後しますが、ここで自己紹介をさせてください。私は江戸のころよりかまぽこ
　屋を家業とするの魅力であり価値であること。いつまでもこうあってほしいと強く思うようになった
　のです。私の中で「地域」というテーマが大きくなってきました、

　　会長職を終えてからもそのテーマを追求したいと思い、思いを同じくする仲間との勉強会「場所文
　化フォーラム」に関わるようになりました．．これもまた大きな出会いの１つでした。『場所文化フ
　ォーラム」はいまから10年ぐらい前に生まれた集まりで、私のような商売人もいますし、日銀のＯＢ
　や金融のプロ、現役の官僚もいますし、大学の先生も学生もいる，．多彩な人たちが月に１回くらい
　飲みながら話をするというだけのものでしたが、話のなかで、「最近、お金がおかしくないか」とい
　う疑問が語られるようになってから、方向性が一気に定まっていきました。
　「お金というのは、本来、人と人とをつないでいく単なる道具だったはずが、いつの間にかお金を持
　つこと、貯めることが目的になってしまっているね。その結果、お金が１カ所に集まり、ほんとうに
　必要なところにお金かまわらないようになってしまった」「お金という物差しでしか価値を測れなく
　なってしまったため、お金の多寡のみが価値の基準になってしまった。だから、お金を待っていると
　ころ、お金を持っている人が評価されて、持っていないところ、持たない人が低く見られる。お金が
　すごく冷たいものになってしまった。そんなおかしな状態だ。本来のお金の役割って何だろう」
　「お金そのものの役割をはっきりさせることはもちろん大事だけれども、此の中の価値観としてお金
　という物差しだけではなくて、お金では測れないものがたくさんあるわけだから、そういうものもし
　っかり測れる別の物差しを確立していかないといけないね」などなど。

　　当然、地域のことについても喧々房々、議論しました。
　「日本が戦争に負けて何もなくなって、いかにして全国にモノを行き渡らせるかというとき、効率が
　優先して求められ、均二化や標準化が盛んに行なわれるようになった。その結果、私たちは大きな恩
　恵を受け、いまの豊かな生活を手に入れたわけだが、その裏側でないがしろにしてきてしまったもの
　も少なくない。地域の個性なるものは一旦脇に置き軽視してきてしまった」
　「地域の個性とか、多様性とか、暮らしぶりとか、入とのつながりとか、ないがしろにしてきたもの
　がいっぱいあるわけだけれども、それをわれわれは『場所文化』と呼ぼう」
　「高度成長のときにはアメリカというロールモデルがあったので、追いつけ追い越せでやってきたわ
　けだけど、気がついたらアメリカもへろへろになっていて、あんまりモデルにならねえなあ」
　「これからはアジアの時代だといわれて久しいが、いまだに日本のアジアに向かってのスタンスが定
　まらないように思う」

　　グローバルな社会のなかで、いまこそわが国の価値とは何かと問い直し、価値を磨き込んでいくこ
　と、つまり日本人が持つべき物差しを確立していく必要があるように思います，
　もちろん、ハイテクの最先端のものづくりの技術は必要不可欠ですが、考えれば、そもそも、ものづ
　くりにおける繊細さ、天才性、勤勉さあるいはチームワークは、日本人のＤＮＡにしっかりと刻まれ
　てきた日本人ならではの自然観、宇宙観、死生観などの発露であり、では、それらがどこで育まれて
　きたのかといえば、やはり日本人が育ってきた風土であり、歴史であり、場所文化のなかであろうと
　思うわけです。　したがって、場所文化をないがしろにしていくということは「日本人ならでは」と
　いう強みを失っていってしまうことだと思います。だからこそ場所文化が完全に失われてしまう前に、
　もう一度、掘り起こし、磨いて、なおかつ世界標準にしていくことをやらないといけないと思うわけ
　です。
　　けれども、それを単なる懐古趣味と取られたのでは意味がありません。場所文化を掘り起こし、磨
　いて終わりではなく、むしろ、そこから先の「日本人ならではの強み」を具体的に表現して世界標準
　にするというのが究極の目標なのです。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　この項つづく
 

 　●　今夜の一品

ワイヤレスイヤホン最強音質ランキング No.1 W800BT

小さな巨人はこんなところにも息づいている。ところが、今月９日、Appleのワイヤレスイヤホン"AirPods"
が煙が上がり破裂したという報告がもち挙がっているという。利益確保第一の風潮の現れなのか？しかし、
オンキョウのワイヤレスイヤホンの品質はナンバーワンだという記事がアップされていますが、高い品質を
楽しむ日本の若者気質に少し安堵しています。時間があれば取り寄せることにしたハイテク志向の爺さんで
すたい。

 　●　今夜の一曲

❦　『A New Day』

　　　私らしく生きてゆくと
　　　決めてから　どれくらい経った？
　　　漂うように　あてもなく過ごした日々　不安ばかりで

　　　どんなに苦しい時だって
　　　誰かが守ってくれているから　明日も　きっと 

　　　ひとりじゃない　君がいるよ
　　　どんな時も強くなれる
　　　怖くないよ　追いかけた夢は今未来へと
　　　繋がってゆく　always with you　寄り添って 

　　　初めて知った　この気持ちは
　　　なんてゆう名前なんだろう
　　　君がくれた　ほんの少しの勇気で　変わった世界

　　　もっと知りたい　伝えたい
　　　想いが溢れてこぼれそうだよ　今日も　ずっと 

　　　誰かじゃない　私の道
　　　君がいれば歩き出せる
　　　あたたかくて　広い海のように包んでくれる
　　　これから先も　always with you 

　　　見たことない景色　見せてくれた
　　　新しい毎日が目の前に広がってる
　　　特別じゃない　A New Day with you 

　　　ひとりじゃない　君がいるよ 
　　　どんな時も強くなれる
　　　怖くないよ　追いかけた夢は今未来へと
　　　繋がってゆく　always with you　寄り添って
　　　　　always with you… 
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　歌手　ビバリー Bevely　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　    　作詞　坂田麻美
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　作曲　Carlos K.・MEROA　　　　

Beverly（ビバリー、1994年6月20日 - ）は、フィリピン出身の女性シンガー。身長153cm。2016年に日本
に移住し、本格的に日本での活動をスタート.「規格外」あるいは「異次元」などと称される高音域まで届くハイ
トーンボイスが特徴。小さい頃からラジオから流れる音楽に合わせて歌うことが大好きだったが、恥ずか
しがり屋でなかなか家族以外の人前で歌えなかったところ、母の勧めもあり９歳からボイスレッスンを開
始。ハイトーンボイスは、ボイスレッスンで米歌手・ビヨンセのパワフルハイトーンの曲『リッスン』を
歌ったことを契機に練習するようになり習得、これによってボーカルの幅が広がったと話している。自分
にとって特別な曲」は、コンクールで優勝時に歌ったWhitney Houstonの「one moment in time」。「座右の
銘」は、「Be Positive.（いつも前向きに。）」と「"Thank you."（ありがとうを伝えることを忘れない。
）」。英語、タガログ語、日本語の3か国語を話す。Beverlyのハイトーンヴォーカルを活かすべく14人の
ストリングスと生バンドというオール生楽器編成によりレコーディングされた、普遍的な「愛」がテーマ
の新曲「A New Day」を含む全４曲からなる記念すべき初シングルをリリース予定。この「A New Day」
は全国フジテレビ系の2018年１月クールの月9ドラマ「海月姫」の主題歌に採用。