素人の粗修正で、XYステージのガイドを分解・整備したら、ある程度のガタが収まった。
1目盛1ミクロンのピックゲージをあてて、バックラッシュを調べたら、3~4ミクロンあった。
ずっと同じ方向に送れば、10分の1ミクロン(サブミクロン)の精度で送れた。
もう一度、分解・整備して、ガタを最小限に抑えて、性能を評価することにする。
十数ナノの分解能で動くリニアアクチュエーターは、ちゃんと動作しているようだ。と思う…。
アクチュエーター内にエンコーダーが内蔵されているようなので、ソフトウェアー内でフィードバックがかけられているか、明日確認する。
1目盛1ミクロンのピックゲージをあてて、バックラッシュを調べたら、3~4ミクロンあった。
ずっと同じ方向に送れば、10分の1ミクロン(サブミクロン)の精度で送れた。
もう一度、分解・整備して、ガタを最小限に抑えて、性能を評価することにする。
十数ナノの分解能で動くリニアアクチュエーターは、ちゃんと動作しているようだ。と思う…。
アクチュエーター内にエンコーダーが内蔵されているようなので、ソフトウェアー内でフィードバックがかけられているか、明日確認する。