内閣府 総合科学技術・イノベーション会議が主導する革新的研究開発推進プログラム(ImPACT)「イノベーティブな可視化技術による新成長産業の創出」の一環として、ジャパンプローブらの研究開発グループは、1024個の超音波受信用の圧電振動子を球面形状に配置した超音波センサを開発し、光超音波イメージング法によるリアルタイム3Dイメージングを実現した。
従来の圧電振動子は、圧電効果を持つセラミックス製圧電振動子でできており、固いため、球面形状に成形することが困難であった。
今回開発に成功した超音波センサでは、モールド法を用いて、薄くフィルム状の圧電振動子のシートを作製することで、球面形状に多数の素子を配置することが可能となった。また、圧電振動子をコンポジット振動子にすることで、周波数帯域1MHz~4MHz以上の広帯域な受信感度を実現した。