物質・材料研究機構は、従来比約6倍の感度を持つインジウム窒化ガリウム製の紫外線センサーを開発した。センサーを構成する絶縁層にフッ化カルシウムを使うことで性能を高めた。UVAと呼ぶ紫外線領域の95%を占める波長320ナノ―400ナノメートル(ナノは10億分の1)の領域を検出する。
シミの原因となるUVAの環境モニターなどに使えるほか、窒化物半導体を使った薄膜太陽電池の高性能化にも応用を見込む。米物理学誌アプライド・フィジクス・レターズに7日発表する。
物材機構センサ材料センターの角谷正友主幹研究員らが開発した。有機金属化学堆積法でインジウム窒化ガリウムを成長させ、その薄膜の表面にナノメートル寸法の電極をくし型状に作る。この電極とインジウム窒化ガリウムとの間にスパッタリングで作製した5ナノメートルのフッ化カルシウムの層を挿入する。
(日刊工業新聞)
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