物材機構、感度６倍の紫外線センサー開発

物質・材料研究機構は、従来比約６倍の感度を持つインジウム窒化ガリウム製の紫外線センサーを開発した。センサーを構成する絶縁層にフッ化カルシウムを使うことで性能を高めた。ＵＶＡと呼ぶ紫外線領域の９５％を占める波長３２０ナノ―４００ナノメートル（ナノは１０億分の１）の領域を検出する。

　シミの原因となるＵＶＡの環境モニターなどに使えるほか、窒化物半導体を使った薄膜太陽電池の高性能化にも応用を見込む。米物理学誌アプライド・フィジクス・レターズに７日発表する。
　
物材機構センサ材料センターの角谷正友主幹研究員らが開発した。有機金属化学堆積法でインジウム窒化ガリウムを成長させ、その薄膜の表面にナノメートル寸法の電極をくし型状に作る。この電極とインジウム窒化ガリウムとの間にスパッタリングで作製した５ナノメートルのフッ化カルシウムの層を挿入する。
（日刊工業新聞）