ターボ分子ボンプがぶっ壊れてしまいました

当社のアークイオンプレーティング装置(神戸製鋼所製)は、真空ポンプ系統は、
高真空範囲を日酸エドワーズの油拡散ポンプで、　低真空範囲はアルバッククラ
イオジェニックスのコールドトラップを補助につけた大阪真空機器製のターボ分子
ポンプを使用しています。

そのターボ分子ポンプが、昨夜、経年変化による金属疲労により、羽根部が破
損、ズタズタに引き裂かれてしまいました。

使用すること16年以上、延べ真空引き回数は１万回を大きく超えるはずです。毎
回、装置内圧を－5乗torr付近まで引っ張り落としますので、長年の使用で金属
が老化しない訳がないのはわかっちゃいますが．．


（担当のF君やT君が分解して確認しましたが、修理して治る気配は無し。急ぎ、
設備メーカーから該当代品を送付して貰う手筈となりました）

修理不能と判断した後、すぐさま全く同じスペックの新ターボ分子ポンプを発注し
ましたが、当社への納品はおよそ2箇月の後。それまでの期間は、メーカーから
同等品をレンタルして稼働させることになってしまいました。新品代・周辺部品代・
同等品レンタル代でウン百万円の全く想定外の出費です。イタ過ぎます．．

イオンプレーティング装置自体は、担当者たちの迅速な対応のおかげで、明後日
には稼働再開の見込み。営業部分の穴はほとんど無しです。

真空系の装置の場合、この手の現象のフォローに冗談じゃない金額がかかるの
が、大きな欠点かと。



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