6/8から6/10の３日間の連続測定データを気象庁のデータと比較してみた。
自宅測定は測定値+3hPaを標高補正としている（実際には温度などを加味する必要があるがとりあえず無視する。
結果的にはMPL3115A2の精度はかなりよいことがわかる。自宅の標高を国土地理院の地図で確認すると2Pa程度の気圧減少になると思うのだが、それを加味するとセンサーの偏差は1hPaとなる。
データシートでは±0.4kPa(=4hPa)が誤差なので十分許容できる値である。
こんなに精度高いと面白いね。
測定期間を延長してみた。6/14
6/20 3時くらい、追記
6/25追記
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調べるとSiを相互拡散して接合してしまう技術もあるようですので、小さいながらもガスが１分子すらもれないような構造を作れているのかもしれません。
100年くらい経過したら使えないのかもしれませんが。
しかし、これは相当な高精度品ですね。面白いものをありがとうございます。
このセンサー、光の問題をちゃんと対策すれば、なかなかいい精度で測定できるますよね。
普通、気圧センサーは温度によるドリフトが出やすいのだけど、センサーの校正段階でしっかり温度特性を計って、デジタル補正しているようです。
MEMSセンサーが普及する前は、アナログ回路で組んでいたので、温度補正の精度がなかなか難しかったです。
気圧センサーは、圧力基準が真空なので、シリコンチップ内に高真空の部屋が作ってありますが、この真空を長期にわたって保つ構造もすごいなぁと思ってしまいます。（＾＾；）