Ｘ線撮影装置を低被曝化するＣＭＯＳセンサー

Ｘ線撮影装置を低被曝化するＣＭＯＳセンサー

イスラエルTower Semiconductor（TowerJazz）と韓国Genorayは、X線撮影装置などの医療機器に向けたCMOS（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサーを共同開発した。X線撮影装置の検出器（ディテクター）に使われるSi（シリコン） TFTを今回のCMOSイメージセンサーに置き換えることで、X線検出感度を高め、被曝量を低減できるという。

　TowerJazzはアナログ半導体専業の大手ファウンドリーであり、GenorayはデジタルX線撮影システムのベンダーである。両社が開発したCMOSイメージセンサーは、TowerJazzの180nmプロセスで製造し、画素ピッチは100μm。画素の感度を可変にできるため、手術に使うCアーム装置から携帯型のX線撮影装置まで、幅広い用途に対応できるという。CTモードとパノラマモードの両方に対応できる点も特徴とする。

　TowerJazzのCMOSイメージセンサー向け180nmプロセスは、1枚のフォトマスクで露光できる面積よりも大きい寸法のチップを製造できる「Stitching」技術に対応する。同社はこの技術について多数の特許を取得しており、製造実績も豊富という。また、精度の高い読み出し回路を実装するためのモデリング機能を備えたPDKも提供する。