太陽電池パネル 米アプライトが新型装置…日経新聞9月3日12面より

製造時破損率半分に

半導体製造装置で世界最大手の米アプライドマテリアルズは２日、太陽電池パネルを製造するための新型装置を開発したと発表した。従来機種に比べて生産性を２倍に高めたほか、ウエハーの破損率も２分の１に抑えた。結晶シリコンを使った太陽電池パネル向けの装置で、需要拡大が見込める台湾や中国メーカーに拡販する。

新型装置「ペガーゾ」はスクリーン印刷の技術を応用。ウエハーの表面に金属配線を施しつつ、パネルの性能検査も同じ工程の中で実施できる点が特徴。１時間あたりのウエハーの処理枚数は従来の1440枚から2900枚に増やし、ウエハー破損などの不良品率もＯ・３％からＯ・15％に半減した。

太陽電池パネル市場は台湾や中国などで市場が急速に拡大しており、高品質のパネルの需要が高まっている。製造装置で大手のアプライトは性能を向上した新型装置をテコにアジア市場での販路を拡大し売り上げ増につなげる考え。