融点-50.7℃、昇華点-63℃で、1個の硫黄原子(S)と6個の弗素原子(F)からなる無色無臭の気体。空気を1としたときの比重は約5.1 。
熱的、化学的に安定で、耐熱性、不燃性、非腐食性に優れているため、変圧器などに封入される電気絶縁ガスとして使用されるほか、半導体や液晶の製造工程でも使われている。
地球温暖化係数が23,900と大きく大気中の寿命が長いため、京都議定書で定められた6つの温室効果ガスのひとつとして位置付けられ、地球温暖化防止対策推進法における排出抑制対象ガスのひとつになっっている。