超純水の使用実態に係る記載を紹介します。

少し旧い文献ですが、超純水の使用実態に係る記載を抽出して紹介します。「超 純 水 の 現 状」野村マイクロ・サイエンスによれば、http://www.jaie.gr.jp/z_yamaki.pdf 「【はじめに】　超純水といえば、半導体製造工場や液晶製造工場において必須のアイテムである。複雑なウェットプロセスにおいてウェハーやガラス基盤の洗浄に欠かせない・・・【超純水水質】必要とされる超純水水質に . . . 本文を読む