スケーリング不可な因子 2008-03-23 00:18:06 | デバイス -Device－ 半導体はムーアの法則に代表されるように微細化に伴い世代交代をしていくのが宿命となっている。スケーリングに関してはすでに（MOSFETスケーリング）でまとめたがスケーリングされない因子についてまとめたい。 スケーリングされないものとして最も根幹にあるものは熱電位ｋT/q,シリコンのバンドギャップEgが変化しないということである。前者は閾値電圧がスケーリングされないこと、後者は空乏幅、内臓電位、短チ . . . 本文を読む
