マイクロ・ナノデバイス 

デバイス・プロセス技術のコラボレーション 参考資料:S.M.Sze半導体デバイス

チャネル長

2008-03-16 22:34:01 | デバイス -Device-
チャネル長にはさまざまな定義がある。 マスク長:Lmask ゲート長:Lgate 電気的チャネル長:Lmet 実効チャネル長:Leff など 現代のCMOSデバイスではゲート形成後にイオン注入することによりS/D領域を作るのでLmetとLgateは密接な関係がある。 LeffはMOSFETのゲート電流駆動能力を測る物差しであり最も回路モデルを作る場合に重要になる量である。 チャネル抵抗Rchは . . . 本文を読む