マイクロ・ナノデバイス 

デバイス・プロセス技術のコラボレーション 参考資料:S.M.Sze半導体デバイス

予定 -プロセス編-

2007-03-25 23:47:51 | プロセス -Process-
3/25キックオフ  就職して1年。これまで学んだ知識をまとめていきます。 とりあえずプロセス編の予定はこんな感じ。 0.結晶成長 1.薄膜形成技術 (酸化、窒化膜) 2.薄膜形成技術 (high-k) 3.不純物ドーピング(Impla、拡散) 4.リソグラフィ技術 5.RIE技術 6.メタル化技術(CMP) 7.メタル化技術(Cuメッキ) 8.メタル化技術(サリサイド) ・・・・ . . . 本文を読む

予定 -Device編-

2007-03-25 23:41:37 | デバイス -Device-
3/25キックオフ  就職して1年。これまで学んだ知識をまとめていきます。 とりあえずデバイス編の予定はこんな感じ。 1.半導体物理(バンド理論) 2.半導体物理(移動度、拡散) 3.MOSキャパシタ 4.酸化膜の信頼性 5.MOSFET 6.MOSFETの動作パラメータ 7.スケーリング 8.CMOS 9.CMOS最適設計 ・・・・ . . . 本文を読む