国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構(以下「JAXA」という)は少量生産システム(ミニマルファブ)(注1、図1)による宇宙用集積回路製造の実現を目指している。このたび、1000トランジスタ規模の集積回路(4ビットシフトレジスタおよびI/O回路)を設計し、国立研究開発法人産業技術総合研究所(以下「産総研」という)が開発した実用SOI-CMOS 2層アルミ配線プロセス技術Technology 2018(注2、図2)を用いて試作(図3)、その動作実証に成功した(図4)。
産総研は、フルオートで製造装置群を操作することで、回路設計者が自らデバイスを製造できるシステムをミニマルファブで開発し、JAXAの回路設計者が自らミニマルファブを操作して上記集積回路の実証に成功した。
集積回路試作と動作実証により、宇宙機に搭載するデバイスをミニマルファブで製造する道が拓けた。今後、宇宙応用をさらに拡大することが期待される。
概要
JAXAと産総研は、少量生産システム(ミニマルファブ)(図1)の宇宙開発利用に係る共同研究を実施しており、ミニマルファブで宇宙用を視野に入れた集積回路が製造可能であることを世界で初めて実証しました。
産総研は、フルオートで製造装置群を操作することで、回路設計者が自らデバイスを製造できるシステムをミニマルファブで開発し、JAXAの回路設計者が自らミニマルファブを操作して上記集積回路の実証に成功した。
集積回路試作と動作実証により、宇宙機に搭載するデバイスをミニマルファブで製造する道が拓けた。今後、宇宙応用をさらに拡大することが期待される。
概要
JAXAと産総研は、少量生産システム(ミニマルファブ)(図1)の宇宙開発利用に係る共同研究を実施しており、ミニマルファブで宇宙用を視野に入れた集積回路が製造可能であることを世界で初めて実証しました。
