三村家親の後を継いだ子の元親が1575年の備中兵乱で討ち死にし、戦国大名としての三村本家は滅亡した。
三村宗家は元親の弟の三村親成が継ぎ、江戸時代初期には備後福山藩の水野家の家老となる。水野家に後継ぎが無く、断絶した後は、親成の曾孫の三村親澄は備中勇崎郷で帰農した。
福山市川口町にも分家筋の三村氏が居住している。
備後福山城
備中松山城を得た三村家親は、その後、備中を統一し、備前や美作に勢力を拡大していった。
三村家親の勢力拡大に脅威を感じた宇喜多直家の放った刺客により1566年に美作・興禅寺にて家親は鉄砲で狙撃されて暗殺された。
家親の死後、子の元親が跡を継いだが、1567年に宇喜多秀家の加勢を得た荘高資に攻められ備中松山城を一時奪われる。
その後、157１年に三村元親が毛利元清の加勢によって備中松山城を奪回し、備中の中・北部を支配した。
三村元親は1575年の備中兵乱で討ち死にし、戦国大名としての三村本家は滅亡した。
