EDXにおける諸問題（スペクトルピーク）に関するお勉強

EDX（エネルギー分散型蛍光X線分析装置）を使っていて、
ふと疑問に思ったことや、使うにあたり気をつけることなどについての勉強。
（に関するメモ）

今回はスペクトルピークの中で、よく見るESCピーク、Sumピークについて。

ESCピーク（エスケープピーク）
ESCピーク（エスケープピーク）は、検出器のSiを励起するのに
蛍光X線のエネルギーが使われたために、
蛍光X線のピーク位置に対してSiのKα線のエネルギー1.74 keVだけ
低いエネルギー位置に出現するもの。

本にはこんな風にありました。これは納得。
でも、走査電子顕微鏡基本用語集にはこんなこと書いてありました。

『EDSの場合、入射したX線により、検出器のSiが励起され、
本来の特性X線ピークの計数が減ると同時に、
SiのX線エネルギー（1.74keV）に相当する低いエネルギー位置に
ゴーストピークが現れる現象』　（引用：weblio 辞書）

この文からだと、入射する連続X線によってSiが励起され、
スペクトルの1.74 keVの位置にピークが出現するみたいに読めてしまう。
実際にそういうったスペクトルが出現する可能性も十分にあるけど、
エスケープピークってのは結構いろんな位置に出現するから
なんかちょっと違う気がする。けど読み違えてるだけで合ってる気もする・・。

あとぜんぜん関係無いけど、エスケープピークって言いにくいなぁ。
何度も何度も噛んだ記憶があります。
特に「エスペーク・・」「エスペープ・・」って言うことが多い。

Sumピーク（サムピーク）
Sumピーク（サムピーク）は、検出器が2つの光子を同時に計数した際に出現する。
高濃度の試料を測定するときに起こりやすく、
2個の光子のエネルギーの和の位置にピークが出現する。
Kα×2の位置だけでなく、Kα＋Kβの位置などにも注意が必要。

辞書にも同じようなことが書かれていました。
これはわかりやすいです。
半導体検出器（SSD）では、信号処理時間より小さな時間間隔で
2つのX線が入射すると、和に相当するパルスを生じちゃうんですね。

エスケープピークもサムピークも、出現する位置は決まっているため
通常はソフトウェアで除去処理がされるようで。


とりあえず今日はこの辺で、今度はもうちょっと詳しく＆
よく耳にする「サテライトピーク」についても。