高強度のコヒーレント光ビームは、データを送信する手段としてますます一般的に使用されています。光ファイバは、金属導体に依存するケーブルよりも低いコスト、重量、長さの単位あたりの体積でより高いデータレートを提供します。
光ビームを制御するためのさまざまなデバイスが知られています。これらの1つが ファイバ減衰器です。
例示的な光減衰器は、米国特許出願第2005/072633号に記載され示されている。4,192,573、Brown、Jr.ct al。平面鏡は入力光線を反射します。集束ミラーは、平面ミラーから反射された光ビームを受け取り、その結果、集束ミラーによって反射された光ビームの軸は、入力光ビームの軸からオフセットされ、平行になります。ピンホールアセンブリは、集光ミラーから反射した光線を受け取ります。ピンホールアセンブリには、集光ミラーによって反射された光ビームの軸上に配置されたピンホールがあります。サーボモーターは、光の入力ビームの軸に平行な方向に、ピンホールアセンブリに対してフラットミラーとフォーカシングミラーを同時に作動させます。ミラーの平行移動は、ピンホールを通過する入力光線の割合を変化させるように作用します。
本発明は、それぞれ異なる減衰量を提供する複数の位置のいずれかに反射面を位置決めするための半導体微小電気機械デバイスを有する可変光減衰器(VOA)である。
可変光減衰器は、Icns、第1の光導波路、および第2の光導波路を含む。半導体微小電気機械デバイスは、レンズの第1および第2の光導波路の反対側に配置される。デバイスには反射面があります。反射面は、第1の導波路からの光が反射面で反射し、レンズを通過して第2の導波路に入る通常の位置を有する。反射面には、第1導波路からの光が反射面で反射してレンズを通過する複数の異なる減衰位置がありますが、第2光導波路に入射する光の量は、それぞれに対応する異なる量だけ減衰します異なる位置。
本発明のさらなる態様によれば、光線を制御する方法は、レンズと、第1および第2の光導波路と、レンズの第1および第2の光学とは反対側に配置された半導体微小電気機械デバイスとを提供することを含む。導波管。デバイスは反射面を持っています。反射面は、第1の導波路からの光が反射面で反射し、レンズを通過して第2の導波路に入る通常の位置に旋回される。反射面は、第1の導波路からの光が反射面で反射してレンズを通過する、それぞれ異なる複数の減衰位置に旋回する。