平成１８年８月度（第５２回）科学技術者フォーラム（ＳＴＦ）セミナーのご案内
１．講演： 「分析ってなんだろう？半導体プロセスの分析技術を例として」
２．講師： NTTアドバンステクノロジ㈱ 材料分析センタ 担当部長 籔本周邦氏
３．日時： 平成18年8月26日（土） １４：００～１６：５０
（懇親会は近くの会場１７：００時より開催）
４．会場： 港区立生涯学習センター ３０５学習室 （定員60名）
ＪＲ新橋駅烏森口改札出て正面通り 徒歩２分左側
地図： http://www.mmjp.or.jp/STF/events/baloon.htm
５．要旨：
材料の精製・清浄化技術と分析技術は車の両輪の関係にあり，分析可能な領域まで材料を純化することができます。分析技術の検出限界まで純化が進むとそれ以上は指針が無くなり、手探り状態になってしまうからです。ＬＳＩを例にとると、製造時におけるクリーン度の要求が集積度の増大や新材料の導入とともに厳しくなり，それに伴って材料分析技術も感度を向上させることが必要になります。逆に言えばＬＳＩ分野は分析技術を開発する側にとっても絶好の腕試しの場となっているのです。
トップデータだけをとれば要求に応え得るレベルに達していても，常時安定して極微量分析を行うことは容易ではありません。材料分析の概略・原理、分析対象に適した分析法の例とともに、データの曖昧さやそれらが一人歩きしてしまうことの危険さ、標準化して皆が同じものさしを持つことの重要さなどを紹介します。
６．略歴：
1977.3 早稲田大学大学院理工学研究科応用化学専攻修了
1977.4 日本電信電話公社入社、武蔵野電気通信研究所
1985.2 同公社、日本電信電話（株）（NTT）となる。同社・主任研究員
1988.1 同社 LSI研究所主幹研究員
1991.2 同社 境界領域研究所 主幹研究員
1996.7 NTTアドバンステクノロジ㈱ 材料分析センタ 厚木分析センタ 所長
2004.7 NTTアドバンステクノロジ㈱材料分析センタ 担当部長、現在に至る。
【専門分野】 表面分析、微量分析、および、ＬＳＩプロセスのクリーン化
【学界ならびに社会における活動等】
・応用物理学会会員
・日本空気清浄協会会員
・日本化学会会員
・ISO TC201 WG2（全反射蛍光X線分析）幹事
・日本空気清浄協会「クリーンルームおよび表面清浄度の測定方法作成委員会」委員、産業機械工業会「クリーンルームと表面汚染委員会」委員、半導体基盤技術研究会「装置部会におけるAPIMS、および、TDSの標準化」幹事、日本機械工業連合会「超精密計測委員会」委員、表面技術協会編集委員などを歴任
【受 賞】
応用物理学会論文賞(1999.10)
７．参加費：受付でお支払いください。
科学技術者フォーラム（ＳＴＦ）正会員１，０００円、 一般２０００円、
ＢＣＣ会員・ＰＶＧ会員・ＦＩＮＥ会員１５００円、 学生１０００円
◎懇親会費は別途２０００～２５００円（実費精算）
８．参加申込： 下記申込書に記入し、セミナー担当の児山ゆたか宛
メール又はＦＡＸでお申し込みください。
ＦＡＸ： ０３－３８４７－８３３６
Ｅ－メール： y.koyama@4306.bell-net.ne.jp
（注）定員６０名になり次第締め切りますので、お早めに申し込みください。
****************************申込書*******************************
＜平成１８年８月度科学技術者フォーラム（ＳＴＦ）セミナー参加申込書＞
・ お名前： （ふりがな ）
・ 所属（会社、事務所、団体）：
・ メールアドレス：
・ ＴＥＬ： ＦＡＸ：
・ 参加区分：科学技術者フォーラム（ＳＴＦ）正会員、ＢＣＣ会員、ＰＶＧ会員、
ＮＰＯＦＩＮＥ会員、学生、一般（紹介者＝ ）
（該当残す）
・ 懇親会： 参加 不参加 （いずれか残す）
・ 領収書必要有無： 講演会 懇親会 （必要なものを残す）
