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なるほど産業技術(3)半導体は印刷する時代? 日の丸復活の切り札か

2016年09月18日 13時53分51秒 | 市場動向チェックメモ
http://www.nikkei.com/article/DGKKZO06187650X10C16A8TJC000/?

なるほど産業技術(3)半導体は印刷する時代? 日の丸復活の切り札か
2016/8/18付日本経済新聞 朝刊

 かつて産業のコメと呼ばれた半導体。40年近く続く主流の製造方法が転換するかもしれない。微細な凹凸を彫ったハンコのような回路原版をシリコンウエハーに押し当てる新技術、ナノインプリント露光(NIL)をキヤノンが2017年度にも実用化する。同社の製造装置で東芝がメモリーを生産する準備に入った。

格安の印刷方式で有機ELパネルの生産が始まる(JOLEDの試作品)

 これまではウエハーを原版越しに露光して回路パターンを写真のように焼き付けてきた。NILは特殊な光源装置や高精度のレンズが不要になり、工程コストを3分の1程度に抑える。回路線幅を細くする微細化がしやすく、近づく物理的な限界にもあらがう。

 キヤノンは特殊な液体を基板に正確に塗る工程ではインクジェットプリンターの技術を応用する。原版には大日本印刷の微細加工技術も用いている。高度な位置決めやインク噴射など日本のお家芸と言える印刷技術がエレクトロニクス産業に新風を吹き込んでいる。

 有機ELパネルでも印刷技術を使う次世代製造方法の実現が迫る。真空中で発光材料を基板に付着する現行方式は装置が高価で材料ロスも大きい。これに代わり、発光材料をプリンターのように精密に塗り分ける方式の実用化に東京エレクトロンとセイコーエプソンが連携してメドを付けた。

 パナソニックとソニーの有機EL事業を統合したJOLED(ジェイオーレッド)もプリンターのような技術で18年中に量産する準備に入った。半導体とパネルで日本勢が世界首位の座から滑り落ちて久しい。印刷技術は日の丸復活の切り札になるだろうか。
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