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表面洗浄改質、プラズマ法と紫外線法の違い 処理ガス供給

2017-05-19 10:00:29 | エキシマUV「表面改質」
こんにちは、横浜市のエキシマUV表面改質システムと接触角計メーカーのエキシマです。
親和性や濡れ性、清浄度の向上などに用いられるプラズマ表面処理とUV表面処理は目的は同じなのでよく比較されます。プラズマ法と一概に言っても真空プラズマや大気圧プラズマ、低温プラズマなどいろいろありますが総じて紫外線法に比べ処理面積の大小や処理温度の高い低い、均一性などの優位性の違いの大小はありますが決定的に違うのは紫外線法はAir, O2, N2, Ar, 高価なHeなどのプラズマ化に必要なガスが不要な点です。処理ガス供給が不要ということはガス供給系の機器が不要になり装置はシンプルかつコンパクトで低価格を実現します。
皆様のお役に立ちましたら光栄です。

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▲処理ガス不要でコンパクト低価格なUV方式




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